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ULVAC からの新しい自動化された高速分光 Ellipsometer

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC、 Inc. は 「SM2」を、別の測定と及ぶゲージヘッドを接続できるトランスデューサーのタイプマルチイオン化ゲージ導入します。 ULVAC はまた、薄膜の厚さを測定できる、また、光学定数解放します自動高速分光 ellipsometer、 「UNECS-3000A」。 有機性 EL の (エレクトロルミネセンスの) 製造業および大きい真空装置のような市場で使用される FPD の製造設備のための最後に、 ULVAC は 「VFR-400」および 「VFR-500」発表します、大きい振子弁の進水を。

「SH2」の概要

ULVAC は異なった測定の範囲とゲージヘッドを接続できる G-TRAN の 「マルチイオン化ゲージ SH2」の (特許審議中) トランスデューサーのタイプを開発し、商業化しました。 新開発 G-TRAN シリーズ 「マルチイオン化ゲージ SH2」は Pirani のゲージ 「SPU」からのシグナルを組み込むことによって接続できるおよび大気センサー 「SAU」 3 つのタイプの真空ゲージをです分離のタイプ広い範囲の真空ゲージ。

ゲージヘッドをユーザーによって望ましい真空の範囲に合うために選べますに加えて真空ゲージにまた次の利点があります。

  1. 広い範囲 (高真空の範囲への大気圧を測定すること可能; 5x10-8Pa)
  2. 壊れるゲージヘッドだけ取り替えること可能
  3. 運営費用 (低い環境の重荷のタイプ) を削減すること可能

新しい G-TRAN シリーズ 「マルチイオン化ゲージ SH2 によって」測定される必要がある範囲にゲージヘッドを選ぶことは可能です。 新製品の中心は中真空から高真空まで及ぶ測定できる 「マルチイオン化ゲージ SH2」の単位です。 測定の広い範囲は Pirani のゲージ (SPU) の使用によって正確に大気圧を測定することを望んだら低い真空の範囲の測定が行われる必要となれば (SAU)、または大気センサーをできます接続。 この製品のために私達は有用性にユーザーにフィラメントの生命が機能不全がいつ発生したかユーザーに遠くから知らせる非常に目に見える LED 低くいつであるか知らせる警告機能を含んでいることによって私達の開発を焦点を合わせました。 消費可能なマルチイオン化ゲージヘッドの価格はまた元の市価の半分に下がりました。

「UNECS-3000A」の概要

従って 「UNECS-3000A」の自動高速分光 ellipsometer は直径 300 の mm の基板を扱うことができるフィルム厚さの分布の非常に高められた測定を可能にする自動マッピング機能と 「UNECS-2000」高速分光 ellipsometer の超高速の測定の機能を結合します。 例えば、ちょうど直径 300 の mm のウエファーの 106 ポイントを測定するために 120 秒かかります。 これはフィルム厚さの分布評価の劇的な時間の節約を意味する他の会社からの慣習的な製品の時間の 5 分の 1 よりより少しです。 「UNECS-3000A」は非常に多目的で、評価のような目的に抵抗します半導体の石版印刷および有機性 EL の表示フィルムのための、そして生産ラインを含む設定の広い範囲のそして研究開発のフィルム厚さに使用することができます。 製品の機能は下記です。

  1. 自動マッピング機能
    製品は自動的に基板の表面および光学一定した分布の厚さを測定でき、カラーマップの測定の結果を表示する直径 300 の mm の基板最大値をサポートできる自動 R Θの段階が装備されています。
  2. 超高速測定
    この製品は前の分光 ellipsometer のために不可能だった 2 つの高位抑制剤との分光 ellipsometry 使用によってスナップショット測定を用いる超高速度の測定 (20ms/point の最高速度) を達成できます。
  3. コストパフォーマンス
    この製品は標準直径 300 の mm の自動マップ、自動高さ調節、ラップトップ・コンピュータ、分析ソフトウェアおよび他の装置のような機能の来るので信じられないいコストパフォーマンスを提供します。
  4. 編集可能材料のテーブル・ファイル
    材料のテーブル・ファイルは、含んでいて基板のための光学定数をおよびフィルムを、ユーザーによってに編集され、追加することができまユーザー一義的なデータベースの容易な作成を可能にします。
  5. 多層フィルムの測定
    フィルム厚さの 6 つまでの層は一度に分析することができます。 (フィルム厚さおよび光学定数はフィルムの上位層のためにだけ同時に測定することができます。)

「VFR-400」および 「VFR-500」の概要

ULVAC は大型真空システムのための商業化された大きい振子弁 「VFR-400」および 「VFR-500」成長し。

新開発の大きい振子弁 「VFR-400」および 「VFR-500」の直径はそれぞれ 16 インチおよび 20 インチです。

これらの新製品の機能は次の通りです。

  1. この製品は機械ロックのメカニズムを使用しません。 一義的なシーリングメカニズムは低振動開始および最後の動き (特許審議中) を実現します。
  2. 保全性は置き、真空システムから弁の包装を除去しないで弁の版をはずすことは可能であるので改善されました。

Last Update: 12. January 2012 15:10

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