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ULVAC에서 새로운 자동화된 고속 분광 Ellipsometer

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc.는 "SM2"를, 다른 측정과 구역 수색하는 계기 헤드를 연결할 수 있는 변형기 모형 다중 이온화 계기 소개합니다. ULVAC는 또한, 박막의 간격을 측정할 수 있는 자동적인 고속 분광 ellipsometer, "UNECS-3000A", 뿐 아니라, 광학적인 불변의 것 풀어 놓습니다. 유기 EL (electroluminescent) 제조 및 큰 진공 장비와 같은 시장에서 사용되는 FPD 제조 설비를 위한 마지막으로, ULVAC는 "VFR-400" 및 "VFR-500" 알립니다, 큰 진자 벨브의 발사를.

"SH2"의 개관

ULVAC는 측정 범위 여러가지 계기 헤드를 연결할 수 있는 G-TRAN "다중 이온화 계기 SH2" (특허 출원 중) 변형기 모형을 개발하고 제품화했습니다. 새로 개발한 G-TRAN 시리즈 "다중 이온화 계기 SH2"는 Pirani 계기 "SPU"에서 신호를 통합해서 진공 계기의 3가지의 다른 모형을 연결할 수 있는 별거 모형 광범위 진공 계기 및 대기 센서 "SAU"입니다.

계기 헤드를 사용자 에의한 요구한 진공 범위를 충족시키는 선정할 수 있는 이외에, 진공 계기에는 또한 뒤에 오는 이점이 있습니다.

  1. 광범위 (높은 진공 범위에 대기압을 측정하게 가능한; 5x10-8Pa)
  2. 단지 고장나는 계기 헤드를 대체하게 가능한
  3. 운영 비용 (낮은 환경 부담 모형)를 삭감하게 가능한

새로운 G-TRAN 시리즈 "다중 이온화 계기 SH2"로 측정될 필요가 있는 범위를 계기 헤드를 선정하는 것이 가능합니다. 신제품의 심혼은 중간 배큠에서 높은 진공에 구역 수색하는 측정할 수 있는 "다중 이온화 계기 SH2" 부대입니다. 측정의 광범위는 Pirani 계기 (SPU)를 사용해서 정확하게 대기압을 측정하고면 싶어을 경우에 낮은 진공 범위 측정이 요구되는 경우에 (SAU) 능력을 발휘하고, 또는 대기 센서를 연결할 수 있습니다. 이 제품을 위해 우리는 유용성에 사용자가 필라멘트 생활이 기능상실이 언제 생긴지 사용자가 멀리에서 알게 할 높게 눈에 보이는 LED 낮은 언제인지 알게 할 경고 기능을 포함해서 우리의 발달을 집중했습니다. 소비가능한 다중 이온화 계기 헤드의 가격은 또한 본래 시장가격의 반에 낮췄습니다.

"UNECS-3000A"의 개관

"UNECS-3000A" 자동적인 고속 분광 ellipsometer는 직경 300 mm 기질을 취급할 수 있는 따라서 필름 간격 배급의 매우 강화한 측정을 가능하게 하는 자동적인 사상 함수와 "UNECS-2000" 고속 분광 ellipsometer의 초고속 측정 기능을, 결합합니다. 예를 들면, 다만 120 직경 300 mm 웨이퍼에 106 점을 측정하기 위하여 초가 소요됩니다. 이것은 필름 간격 배급 평가에 극적인 시간 savings를 의미하는 그밖 회사에게서 전통적인 제품을 위한 시간의 1/5 이하 입니다. "UNECS-3000A"는 극단적으로 다재다능하 평가와 같은 목적을 위해 저항합니다 반도체 석판인쇄술과 유기 EL 전시 필름을 위한 그리고 생산 라인을 포함하여 조정의 광범위에서 그리고 연구와 개발에서 필름 간격을 사용될 수 있습니다. 제품 성능은 아래에 기술한 바와 같습니다.

  1. 자동적인 사상 함수
    제품은 자동적으로 기질 표면 및 광학적인 일정한 배급의 간격을 측정할 수 있고 색상 맵에 측정 결과를 디스플레이하는 직경 300 mm 기질 최대를 지원할 수 있는 자동적인 R 시타 단계로 갖춰집니다.
  2. 매우 고속 측정
    이 제품은 이전 분광 ellipsometer를 위해 불가능했던 2개의 고위 억제제에 분광 ellipsometry 사용해서 스냅 측정을 가진 매우 높 속도 측정 (20ms/point의 최고 속도)를 달성할 수 있습니다.
  3. 비용 성과
    이 제품은 기준 직경 300 mm 자동적인 지도로 나타내고기 자동적인 높이 조정, 휴대용 컴퓨터, 분석 소프트웨어 및 그밖 장비와 같은 기능을 가진 오기 때문에 믿을 수 없는 비용 성과를 제안합니다.
  4. 편집 가능 물자 테이블 파일
    물자 테이블 파일은, 포함해서 기질을 위한 광학적인 불변의 것을과 필름을, 사용자에 의해에게 편집되고 추가될 수 있어, 사용자 유일한 데이타베이스의 쉬운 작성을 가능하게 하.
  5. 다중 층막 측정
    필름 간격의 6개의 까지 층은 한번에 분석될 수 있습니다. (필름 간격과 광학적인 불변의 것은 필름의 상위층을 위해서만 동시에 측정될 수 있습니다.)

"VFR-400"와 "VFR-500"의 개관

ULVAC는 큰 진공 시스템을 위한 제품화한 큰 진자 벨브 "VFR-400"와 "VFR-500" 발전하고.

새로 발육된 큰 진자 벨브 "VFR-400"와 "VFR-500"의 직경은 각각 16 인치 및 20 인치입니다.

이 신제품의 특징은 다음과 같이 입니다.

  1. 이 제품은 기계적인 자물쇠 기계장치를 이용하지 않습니다. 유일한 밀봉 기계장치는 낮 진동 개통과 결산 운동 (특허 출원 중)를 실현합니다.
  2. 유지가능성은 위에 두고 진공 시스템에서 벨브 케이싱 제거 없이 그것의 벨브 격판덮개를 추출하기 것이 가능하기 때문에 향상되었습니다.

Last Update: 12. January 2012 15:12

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