Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Nieuwe Geautomatiseerde Hoge snelheid Spectroscopische Ellipsometer van ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. introduceert „SM2“, een omvormertype multiionisatiemaat die maathoofden aan verschillende metingswaaiers kan verbinden. ULVAC bevrijdt ook, „unecs-3000A“, een automatische hoge snelheids spectroscopische ellipsometer die de dikte van een dunne film kan meten, evenals, optische constante. Tot Slot kondigt ULVAC de lancering van „vfr-400“ en „vfr-500“, grote die slingerkleppen voor aan FPD productieapparatuur, in markten zoals organische (electroluminescent) wordt gebruikt GR productie en grote vacuümapparatuur.

Overzicht van „SH2“

ULVAC heeft g-TRAN „omvormertype en op de markt gebracht ontwikkeld Multi van de ionisatieMaat SH2“ (octrooi aangevraagd) die maathoofden aan verschillende metingswaaiers kan verbinden. De pas ontwikkelde g-TRAN Reeks de „MultiMaat van de Ionisatie SH2“ is een scheidingstype brede waaier vacuümmaat die drie verschillende types van vacuümmaten kan verbinden door signalen van een Pirani maat „SPU“ en een Atmosferische sensor „SAU“ op te nemen.

Naast het kunnen het maathoofd selecteren om de gewenste vacuümwaaier door de gebruiker te ontmoeten, heeft de vacuümmaat ook volgende voordelen.

  1. Mogelijk om een brede waaier te meten (luchtdruk aan hoge vacuümwaaier; 5x10-8Pa)
  2. Mogelijk om slechts ontbroken maathoofden te vervangen
  3. Mogelijk om bedrijfskosten (laag milieulasttype) te verminderen

Met de nieuwe g-TRAN Reeks „MultiionisatieMaat SH2“ het is mogelijk om het maathoofd voor de waaier te selecteren die moet worden gemeten. Het hart van het nieuwe product is eenheid de van de „Multiionisatiemaat SH2“ die kan meten zich uitstrekt van een middelgroot vacuüm aan een hoog vacuüm. Een brede waaier van metingen kan worden uitgevoerd door de maat Pirani (SPU) te gebruiken als een lage vacuümwaaiermeting wordt vereist, of sluit de Atmosferische sensor aan (SAU) als u luchtdruk zou willen precies meten. Voor dit product concentreerden wij onze ontwikkeling op bruikbaarheid door een waarschuwingsfunctie te omvatten die de gebruiker zal laten weten wanneer het gloeidraadleven en hoogst zichtbare LEIDEN laag is die de gebruiker van veraflegen zullen laten kennen wanneer een defect is voorgekomen. De prijs van het voor consumptie geschikte Multihoofd van de ionisatiemaat werd ook verminderd aan de helft van originele marktprijs.

Overzicht van „unecs-3000A“

„Unecs-3000A“ automatische hoge snelheids spectroscopische ellipsometer combineert de ultrasnelle het meten mogelijkheden van „unecs-2000“ hoge snelheids spectroscopische ellipsometer met een automatische afbeeldingsfunctie die 300 mm- diametersubstraten kan behandelen, waarbij zeer verbeterde meting van de distributie van de filmdikte wordt toegelaten. Bijvoorbeeld, vergt het enkel 120 seconden aan maatregel 106 punten op een 300 mm- diameterwafeltje. Dit is minder dan één vijfde van de tijd die voor conventionele producten van andere bedrijven, dramatische tijdsbesparingen bij de de distributieevaluatie van de filmdikte betekent. „Unecs-3000A“ is uiterst veelzijdig en kan worden gebruikt want de doeleinden zoals evaluatie zich film tegen dikte voor halfgeleiderlithografie en organische de vertoningsfilm van GR, en in een brede waaier van montages met inbegrip van lopende banden en in onderzoek en ontwikkeling verzetten. De eigenschappen van het Product worden hieronder beschreven.

  1. Automatische afbeeldingsfunctie
    Het product is uitgerust met automatisch een r-Theta stadium dat een maximum 300 mm- diametersubstraat kan steunen dat de dikte van de substraatoppervlakte en de optische constante distributie kan automatisch meten en de metingsresultaten op een kleurenkaart tonen.
  2. Ultra hoge snelheidsmetingen
    Dit product kan ultra-hoog-snelheidsmetingen (maximumsnelheid van 20ms/point) met de momentopnamemeting bereiken door spectroscopische ellipsometry met twee high-order vertragers te gebruiken die voor vorige spectroscopische ellipsometer onmogelijk was.
  3. De prestaties van Kosten
    Dit product biedt ongelooflijke kostenprestaties aan omdat het norm met functies zoals 300 mm- diameter automatische afbeelding, automatische hoogteaanpassing, een lap-top computer, analysesoftware, en andere apparatuur komt.
  4. Het dossier van de de materialenlijst van Editable
    Het dossier van de materialenlijst, dat optische constanten voor substraten en films bevat, kan aan door gebruikers worden uitgegeven en worden toegevoegd, toelatend de gemakkelijke verwezenlijking van gebruiker-unieke gegevensbestanden.
  5. Multi-layer filmmetingen
    Tot zes lagen van filmdikte kunnen in één keer worden geanalyseerd. (De dikte van de Film en de optische constanten kunnen gelijktijdig slechts voor de bovenlaag van film worden gemeten.)

Overzicht van „vfr-400“ en „vfr-500“

ULVAC heeft Kleppen „vfr-400“ en „vfr-500“ Grote van de Slinger voor grote vacuümsystemen ontwikkeld en op de markt gebracht.

De diameters van pas ontwikkelde Klep „vfr-400“ en „vfr-500“ Grote van de Slinger zijn 16 duim en 20 respectievelijk duim.

De Eigenschappen van deze nieuwe producten zijn als volgt.

  1. Dit product gebruikt geen mechanisch slotmechanisme. Een uniek verzegelend mechanisme realiseert laag-trilling die en het sluiten bewegingen (octrooi aangevraagd) opent.
  2. De Houdbaarheid was beter omdat het mogelijk is om zijn klepplaat aan te zetten en op te stijgen zonder het klepomhulsel uit vacuümsystemen te verwijderen.

Last Update: 12. January 2012 15:00

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit