ULVAC, Inc. apresenta o "SM2", um transdutor tipo de indicador de ionização de várias cabeças que pode se conectar bitola com faixas de medição diferente. ULVAC também libera, o "UNECS-3000A", elipsometria de alta velocidade automática espectroscópica que pode medir a espessura de uma película fina, bem como, óptico constante. Finalmente, ULVAC anuncia o lançamento do "VFR-400" e "VFR-500", válvulas pêndulo grande para equipamento de fabricação DPF, utilizada em mercados como orgânico EL (eletroluminescente) e fabricação de equipamentos de vácuo de grande porte.
Visão geral de "SH2"
ULVAC tem desenvolvido e comercializado no G-TRAN "Gauge ionização multi SH2" (patente pendente) tipo de transdutor que pode se conectar cabeças bitola com faixas de medição diferente. O recém-desenvolvido G-TRAN Series "SH2 Medidor multi ionização" é uma separação do tipo vacuômetro ampla gama que podem se conectar três tipos diferentes de medidores de vácuo por sinais de incorporação de um medidor Pirani "SPU" e um sensor atmosférico "SAU".
Além de ser capaz de selecionar o medidor de cabeça para atender a faixa de vácuo desejado pelo usuário, o vacuômetro também tem as seguintes vantagens.
- Possível medir uma vasta gama (pressão atmosférica a vácuo elevado; 5x10-8PA)
- Possível substituir cabeças indicador só não
- Possível reduzir custos de funcionamento (tipo de carga baixa ambiental)
Com o G-TRAN nova série "Gauge ionização multi SH2" é possível selecionar o medidor de cabeça para o intervalo que precisa ser medido. O coração do novo produto é o "Multi medidor de ionização SH2" unidade de medida que pode varia de um vácuo de médio a alto vácuo. Uma grande variedade de medições podem ser realizadas usando o medidor Pirani (SPU), se uma medida de gama baixa de vácuo é necessário, ou ligar o sensor Atmosférica (SAU), se você gostaria de medir com precisão a pressão atmosférica. Para este produto, focamos nosso desenvolvimento em usabilidade, incluindo uma função de alerta que permitirá que o usuário saiba quando a vida filamento é baixa e um LED de alta visibilidade que permitirá que o usuário saiba de longe quando uma avaria ocorreu. O preço da cabeça de ionização multi medidor de consumo também foi reduzido para metade do preço de mercado original.
Visão geral de "UNECS-3000A"
O "UNECS-3000A" elipsometria alta velocidade automática espectroscópicas combina as capacidades ultra-rápido de medição de "UNECS-2000" elipsometria espectroscópica de alta velocidade com uma função de mapeamento automático que pode lidar com substratos de 300 mm de diâmetro, permitindo a medição muito maior do cinema distribuição de espessura. Por exemplo, leva apenas 120 segundos para medir 106 pontos em um wafer de 300 milímetros de diâmetro. Isso é menos de um quinto do tempo para os produtos convencionais de outras empresas, o que significa economia de tempo dramático no filme avaliação da distribuição da espessura. O "UNECS-3000A" é extremamente versátil e pode ser usado para fins de avaliação de resistir a espessura do filme para litografia de semicondutores e filme para exposição orgânica EL, e em uma ampla gama de configurações, incluindo linhas de produção e em pesquisa e desenvolvimento. Características do produto são descritas abaixo.
- Função de mapeamento automático
O produto é equipado com um estágio R-theta automático que pode suportar um máximo de 300 mm de diâmetro substrato que pode automaticamente medir a espessura da superfície do substrato e distribuição constantes ópticas e exibir os resultados da medição em um mapa de cores. - Ultra alta velocidade medições
Este produto pode alcançar ultra-alta velocidade medições (velocidade máxima de 20ms/point) com a medição instantâneo usando elipsometria espectroscópica com dois alto-ordem retardadores que foi impossível para o elipsometria espectroscópica anterior. - Desempenho de custo
Este produto oferece desempenho de custo incrível, porque vem com funções como mapeamento de 300 mm de diâmetro automático, ajuste de altura automático, um computador lap-top, software de análise, e outros equipamentos. - Arquivo da tabela editável materiais
O arquivo da tabela de materiais, contendo as constantes ópticas para substratos e filmes, pode ser editado e adicionado pelos usuários, permitindo a fácil criação de usuário únicos bancos de dados. - Multi-camada de medições filme
Até seis camadas de espessura do filme pode ser analisado ao mesmo tempo. (Espessura e constantes óticas podem ser medidos simultaneamente apenas para a camada superior de filme.)
Visão geral de "VFR-400" e "VFR-500"
ULVAC tem desenvolvido e comercializado Válvulas Pendulum Large "VFR-400" e "VFR-500" para sistemas de vácuo de grande porte.
Os diâmetros das válvulas Pendulum recém-desenvolvido Large "VFR-400" e "VFR-500" são de 16 polegadas e 20 polegadas respectivamente.
Características destes novos produtos são os seguintes.