Новый автоматизированный высокоскоростной Спектроскопические эллипсометр от ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc представляет "SM2", тип датчика несколько калибровочных ионизации, которая может подключаться калибр головки с различными диапазонами измерения. ULVAC также релизы, "UNECS-3000A", автоматическая высокоскоростная спектроскопических эллипсометра который может измерять толщину тонкой пленки, а также, оптические константы. Наконец, ULVAC объявляет о запуске "VFR-400" и "VFR-500", большие клапаны маятника для FPD технологического оборудования, используемых на рынках, таких как органические EL (электролюминесцентный) изготовление и крупных вакуумного оборудования.

Обзор "SH2"

ULVAC разработала и коммерческую G-TRAN "Мульти калибровочных ионизации SH2" (патент заявлен) тип датчика, которые могут подключаться калибр головки с различными диапазонами измерения. Недавно разработанный G-TRAN серии "Мульти SH2 калибровочных Ионизация" является разделение типа широкий вакуумметр диапазон, который можно подключить три различных типа вакуумметры, включив сигналы от калибровочных Пирани "СПУ" и атмосферных датчиков "САУ".

В дополнение к возможности выбора измерительной головки для достижения желаемых вакуумного диапазона пользователей, вакуумметр также имеет следующие преимущества.

  1. Возможность измерять широкий диапазон (атмосферное давление в диапазоне высоких вакууме; 5x10-8Pa)
  2. Можно заменить только не глав калибр
  3. Возможные снизить эксплуатационные расходы (низкое экологического типа нагрузки)

С новой G-серии TRAN "Мульти калибровочных ионизации SH2" можно выбрать измерительной головки для диапазона, которая должна быть измерена. Сердцем новых продукта "Мульти ионизации калибр SH2" блок, который можно измерить в пределах от среды вакуума до высокого вакуума. Широкий диапазон измерений могут быть выполнены с помощью калибровочного Пирани (СПУ), если низкий диапазон измерения вакуума требуется, или подключить датчик атмосферного (САУ), если вы хотите точно измерить атмосферное давление. Для этого продукта мы сосредоточили наши разработки в области юзабилити, в том числе предупреждение функцию, которая позволит пользователю узнать, когда нить жизни является низким и весьма заметны светодиод, который позволит пользователю узнать издалека, когда сбой произошел. Цена расходных Множественный голову калибр ионизации был также снижен до половины первоначальной цены рынка.

Обзор "UNECS-3000A"

"UNECS-3000A" автоматической высокоскоростной спектроскопических эллипсометра сочетает в себе ультра-быстрые измерения возможностей "UNECS-2000" высокоскоростной спектроскопических эллипсометра с автоматической функцией отображения, которые могут обрабатывать подложки 300 мм в диаметре, что позволяет значительно возрастает измерение фильма распределение толщины. Например, она занимает всего 120 секунд для измерения 106 точек на пластине диаметром 300 мм. Это меньше, чем одна пятая часть времени для обычных продуктов от других компаний, а это означает значительную экономию времени на пленке оценки распределения толщины. "UNECS-3000A" чрезвычайно гибок и может быть использован для таких целей, как оценка сопротивляться толщины пленки для полупроводниковой литографии и органические EL дисплей фильм, и в широком диапазоне параметров, включая производственные линии и в исследования и разработки. Особенности продукта описаны ниже.

  1. Автоматическая функция, отображающая
    Продукт оснащен автоматической R-тета этапе, который может поддерживать не более 300 мм подложки, который может автоматически измерять толщину поверхности подложки и оптической постоянной распространения и отображения результатов измерений на цветной карте.
  2. Ультра скоростной измерений
    Этот продукт может достичь сверхвысокой скорости измерений (максимальная скорость 20ms/point) с снимка измерений с помощью спектроскопических эллипсометрии с двумя высокого порядка замедлителей, что было невозможно для предыдущего спектроскопических эллипсометра.
  3. Стоимость производительности
    Этот продукт предлагает невероятную производительность стоимости, потому что он поставляется со стандартной функции, такие как 300 мм диаметром автоматическое отображение, автоматическая регулировка по высоте, портативные компьютеры, программное обеспечение для анализа, и другое оборудование.
  4. Редактируемый файл таблицы материалов
    Файл материалы таблицы, содержащие оптические константы для подложек и пленок, могут быть отредактированы и добавлены пользователями, что позволяет легко создавать уникальные пользовательские базы данных.
  5. Многослойная пленка измерений
    До шести слоев толщиной пленки могут быть проанализированы в одно время. (Толщина пленки и оптических констант могут быть измерены одновременно только на верхний слой фильма.)

Обзор "VFR-400" и "VFR-500"

ULVAC разработала и коммерческую Большие клапаны Маятник "VFR-400" и "VFR-500" для больших систем вакуум.

Диаметры недавно разработанной Valve Большой маятник "VFR-400" и "VFR-500" являются 16 дюймов и 20 дюймов соответственно.

Особенности этих новых продуктов заключаются в следующем.

Last Update: 1. November 2011 10:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit