Nya Automatiserade Snabba Spectroscopic Ellipsometer från ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC Inc. introducerar ”SM2EN”, mätinstrument för jonisering för omformaretyp ett mång- som kan förbinda mätinstrumenthuvud med olik mätning spänner. ULVAC frigör också, ”UNECSEN-3000A”, en automatisk snabb spectroscopic ellipsometer som kan mäta tjockleken av ett tunt filmar, såväl som, den optiska konstanten. Slutligen, meddelar ULVAC barkassen av ”VFREN-400” och ”VFR-500”, marknadsför stora klockpendelventiler för fabriks- utrustning för FPD som in används, liksom (electroluminescent) som organisk EL är fabriks-, och stort dammsuga utrustning.

Överblick av ”SH2”,

ULVAC har framkallat, och kommersialiserat för joniseringsMätinstrumentet SH2 för G-TRAN ”Mång- typen för omformaren” (patenterat oavgjort), som kan förbinda mätinstrumenthuvud med olik mätning, spänner. Den nyligen framkallade G--TRANSerien ”det Mång- JoniseringsMätinstrumentet SH2” är en avskiljandetyplång räcka dammsuger mätinstrumentet, som kan förbinda tre olika typer av dammsuger mätinstrument, genom att inkorporera, signalerar från ett Pirani mätinstrument ”SPU”, och en Atmosfärisk avkännare ”SAU”.

Förutom att vara kompetent att välja mätinstrumenthuvudet att möta önskad dammsuga spänner vid användaren, dammsugamätinstrumentet har också efter fördelar.

  1. Möjlighet som mäter en atmosfärisk lång räcka (pressa till kicken dammsuger spänner; 5x10-8Pa)
  2. Möjlighet som byter ut endast missade mätinstrumenthuvud
  3. Möjligheten som förminskar spring, kostar (låg miljö- bördatyp)

Med den nya G--TRANSerien ”det Mång- joniseringsMätinstrumentet SH2” är det möjligheten som väljer mätinstrumenthuvudet för spänna som behöver att mätas. Hjärtan av ny produkt är ”Mång- jonisering enheten för mätinstrumentet SH2” som kan mäta spänner från ett medel dammsuger till en kick dammsuger. En lång räcka av mätningar kan utföras, genom att använda det Pirani mätinstrumentet (SPU) om en low dammsuger spänner mätning krävs, eller att förbinda den Atmosfäriska avkännaren (SAU), om du skulle något liknande exakt för att mäta atmosfäriskt, pressa. För denna produkt fokuserade vi vår utveckling på användbarhet, by en varning fungerar däribland som att ska låt användaren vet när glödtrådlivet är lågt och ett högt synligt LEDDE att ska låt användaren vet från afar när en krångla har uppstått. Prissätta av det förbruknings- Mång- joniseringsmätinstrumenthuvudet fälldes ned också till halvan av det original- marknadspriset.

Överblick av ”UNECS-3000A”,

De automatiska snabba spectroscopic ellipsometersammanslutningarna ”för UNECS-3000A” som ultra-fasta som mäter kapaciteter av den snabba spectroscopic ellipsometeren ”UNECS-2000” med automatiskt kartlägga, fungerar, som kan behandla 300 en mmdiametersubstrates, således möjliggöra väldeliga förhöjd mätning av filma tjockleksfördelning. Till exempel tar det precis 120 understöder för att mäta 106 pekar på ett diameterrån för en mm 300. Detta är mindre än en - fifthen av tiden för konventionella produkter från andra företag, menande dramatiska tidbesparingar filmar på tjockleksfördelningsutvärdering. ”UNECSEN-3000A” är extremt mångsidig och kan användas för ämnar liksom utvärdering motstår filmar tjocklek för halvledarelithography, och organisk EL-skärm filmar, och i en lång räcka av inställningar fodrar den inklusive produktionen och i forskning och utveckling. Produktsärdrag är beskrivit nedanfört.

  1. Automatiskt kartlägga fungerar
    Produkten utrustas med en automatisk R-Theta arrangerar som kan stötta ett maximum 300 en mmdiametersubstrate, som kan automatiskt mäta tjockleken av substraten ytbehandlar, och optisk konstant fördelning och visar mätningsresultaten på en färga kartlägger.
  2. Ultra snabba mätningar
    Denna produkt kan uppnå ultra-kick-rusar mätningar (maximat rusar av 20ms/point), med kortmätningen, genom att använda spectroscopic ellipsometry med två, kick-beställer retarders som var omöjligt för den föregående spectroscopic ellipsometeren.
  3. Kosta kapaciteten
    Denna produkt erbjuder oerhört kostar kapacitet, därför att den kommer standart med fungerar liksom kartlägga för diameter för en mm 300 automatiskt, automatisk höjdjustering, enbästa dator, analysprogramvara och annan utrustning.
  4. Redigerbara material bordlägger sparar
    Materialen bordlägger sparar och att innehålla optiska konstanter för substrates och filmar, kan redigeras och tillfogas till av användare och att möjliggöra den lätta skapelsen av användare-unika databaser.
  5. Mång--Lagrar filmar mätningar
    Upp till filmar sex lagrar av tjocklek kan analyseras på en tid. (Filma tjocklek, och optiska konstanter kan mätas samtidigt endast för övrelagrar av filmar.),

Överblick av ”VFR-400” och ”VFR-500”,

ULVAC har framkallat, och kommersialiserade Stora KlockpendelVentiler ”VFR-400” och ”VFR-500” för stort dammsuger system.

Diametrarna av den nyligen framkallade Stora KlockpendelVentilen ”VFR-400” och ”VFR-500” är 16 flytta sig mycket långsamt, och 20 flytta sig mycket långsamt respektive.

Särdrag av dessa ny produkt är som följer.

  1. Denna produkt använder inte ett mekaniskt låser mekanismen. En unik försegla mekanism realiserar låg-vibration öppnings- och bokslutförehavanden (patenterat oavgjort).
  2. Maintainability förbättrades, därför att det är möjligheten till pålagt och tar dess ventil pläterar av, utan att ta bort ventilcasingen från, dammsuger system.

Last Update: 27. January 2012 10:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit