从 ULVAC 的新的自动化的高速分光镜 Ellipsometer

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. 介绍 “SM2”,可能用另外评定连接测量仪题头排列的变换装置类型多电离测量仪。 ULVAC 也发行,可能评定薄膜的厚度的 “UNECS-3000A”,一自动高速分光镜 ellipsometer,以及,光学常数。 终于, ULVAC 宣布 “VFR-400”和 “VFR-500”, FPD 制造器材的大摆锤阀门的生成,用于市场例如有机 EL (电致发光的) 制造和大真空设备。

“SH2”概览

ULVAC 开发了并且把可能连接测量仪题头用不同的评定范围的 G-TRAN “多电离测量仪 SH2” (专利审理的) 变换装置类型商业化。 新开发的 G-TRAN 串联 “多电离测量仪 SH2”是可能通过合并从 Pirani 测量仪 “SPU”的信号连接真空表的三种不同类型的分隔类型大范围真空表和一个大气传感器 “SAU”。

除之外能选择测量仪题头由这个用户满足期望真空范围,真空表也有下列好处。

  1. 可能评定大范围 (对高真空范围的大气压; 5x10-8Pa)
  2. 可能替换仅不合格的测量仪题头
  3. 可能减少运行费用 (低环境间接费用类型)

新的 G-TRAN 串联 “多电离测量仪 SH2”为需要被评定的范围选择测量仪题头是可能的。 新产品的重点是可能评定从媒体真空范围到高真空的 “多电离测量仪 SH2”部件。 各种各样的评定可以进行通过使用 Pirani 测量仪 (SPU),如果需要一个低真空范围评定,或者连接大气传感器 (SAU),如果您希望精密地评定大气压。 对此产品我们集中我们的发展于可用性通过包括将告诉这个用户的警告功能细丝寿命什么时候是低和高度可视 LED 将告诉这个用户从在远处故障什么时候发生了。 可消耗的多电离测量仪题头的价格也降低对一半原始市场价格。

“UNECS-3000A”概览

“UNECS-3000A”自动高速分光镜 ellipsometer 与可能处理 300 mm 直径基体的一个自动映射功能结合 “UNECS-2000”高速分光镜 ellipsometer 的超速的评定的功能,因而启用胶片厚度配电器的非常地改进的评定的。 例如,需要 120 秒评定在一个 300 mm 直径薄酥饼的 106 点。 这少于时期的五分之一是常规产品的从其他公司,意味在胶片厚度配电器评估的严重的时间储蓄。 “UNECS-3000A”是非常多才多艺的,并且可以为目的使用例如评估抵抗胶片厚度半导体石版印刷和有机 EL 显示影片的和在各种各样的设置包括生产线和在研究与开发。 产品功能下述。

  1. 自动映射功能
    这个产品用可能支持最大数量 300 mm 直径基体可能自动地评定这个基体表面和光学恒定的配电器厚度并且显示在颜色表的评定结果的一个自动 R 希腊字母的第八字阶段装备。
  2. 超高速评定
    此产品可能达到超高速的评定 (20ms/point 的最大速度) 与快照评定通过使用为早先分光镜 ellipsometer 是不可能的分光镜 ellipsometry 与二种高位阻滞剂。
  3. 性价比
    因为它来与功能的标准例如 300 mm 直径自动映射,自动高低调整、膝上型计算机、分析软件和其他设备,此产品提供难以置信的性价比。
  4. 编辑可能的材料表文件
    材料表文件,包含基体的光学常数和影片,可以被编辑和被添加到由用户,启用用户唯一数据库的容易的创建。
  5. 多层膜评定
    可以一次分析胶片厚度六块层。 (胶片厚度和光学常数可以为上层影片仅同时被评定。)

“VFR-400”和 “VFR-500”概览

ULVAC 开发了和商业化的大摆锤阀门 “VFR-400”和 “VFR-500”大真空系统的。

新开发的大摆锤阀门 “VFR-400”和 “VFR-500”的直径分别为 16 英寸和 20 英寸。

这些新产品功能如下是。

  1. 此产品不使用一个机械锁定结构。 一个唯一海豹捕猎结构认识到低振动空缺数目和闭合值的移动 (专利审理的)。
  2. 改进了可维护性,因为放置和离开其阀门牌照是可能的,无需去除阀门框从真空系统。

Last Update: 12. January 2012 14:58

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