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從 ULVAC 的新的自動化的高速分光鏡 Ellipsometer

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. 介紹 「SM2」,可能用另外評定連接測量儀題頭排列的變換裝置類型多電離測量儀。 ULVAC 也發行,可能評定薄膜的厚度的 「UNECS-3000A」,一自動高速分光鏡 ellipsometer,以及,光學常數。 終於, ULVAC 宣佈 「VFR-400」和 「VFR-500」, FPD 製造器材的大擺錘閥門的生成,用於市場例如有機 EL (電致發光的) 製造和大真空設備。

「SH2」概覽

ULVAC 開發了并且把可能連接測量儀題頭用不同的評定範圍的 G-TRAN 「多電離測量儀 SH2」 (專利審理的) 變換裝置類型商業化。 新開發的 G-TRAN 串聯 「多電離測量儀 SH2」是可能通過合併從 Pirani 測量儀 「SPU」的信號連接真空表的三種不同類型的分隔類型大範圍真空表和一個大氣傳感器 「SAU」。

除之外能選擇測量儀題頭由這個用戶滿足期望真空範圍,真空表也有下列好處。

  1. 可能評定大範圍 (對高真空範圍的大氣壓; 5x10-8Pa)
  2. 可能替換仅不合格的測量儀題頭
  3. 可能減少運行費用 (低環境間接費用類型)

新的 G-TRAN 串聯 「多電離測量儀 SH2」為需要被評定的範圍選擇測量儀題頭是可能的。 新產品的重點是可能評定從媒體真空範圍到高真空的 「多電離測量儀 SH2」部件。 各種各樣的評定可以進行通過使用 Pirani 測量儀 (SPU),如果需要一個低真空範圍評定,或者連接大氣傳感器 (SAU),如果您希望精密地評定大氣壓。 对此產品我們集中我們的發展於可用性通過包括將告訴這個用戶的警告功能細絲壽命什麼時候是低和高度可視 LED 將告訴這個用戶從在遠處故障什麼時候發生了。 可消耗的多電離測量儀題頭的價格也降低對一半原始市場價格。

「UNECS-3000A」概覽

「UNECS-3000A」自動高速分光鏡 ellipsometer 與可能處理 300 mm 直徑基體的一個自動映射功能結合 「UNECS-2000」高速分光鏡 ellipsometer 的超速的評定的功能,因而啟用膠片厚度配電器的非常地改進的評定的。 例如,需要 120 秒評定在一個 300 mm 直徑薄酥餅的 106 點。 這是時期的少於五分之一常規產品的從其他公司,意味在膠片厚度配電器評估的嚴重的時間儲蓄。 「UNECS-3000A」是非常多才多藝的,并且可以為目的使用例如評估抵抗膠片厚度半導體石版印刷和有機 EL 顯示影片的和在各種各樣的設置包括生產線和在研究與開發。 產品功能下述。

  1. 自動映射功能
    這個產品用可能支持最大數量 300 mm 直徑基體可能自動地評定這個基體表面和光學恆定的配電器厚度并且顯示在顏色表的評定結果的一個自動 R 希臘字母的第八字階段裝備。
  2. 超高速評定
    此產品可能達到超高速的評定 (20ms/point 的最大速度) 與快照評定通過使用為早先分光鏡 ellipsometer 是不可能的分光鏡 ellipsometry 與二種高位阻滯劑。
  3. 性價比
    因為它來與功能的標準例如 300 mm 直徑自動映射,自動高低調整、膝上型計算機、分析軟件和其他設備,此產品提供難以置信的性價比。
  4. 編輯可能的材料表文件
    材料表文件,包含基體的光學常數和影片,可以被編輯和被添加到由用戶,啟用用戶唯一數據庫的容易的創建。
  5. 多層膜評定
    可以一次分析膠片厚度六塊層。 (膠片厚度和光學常數可以為上層影片仅同時被評定。)

「VFR-400」和 「VFR-500」概覽

ULVAC 開發了和商業化的大擺錘閥門 「VFR-400」和 「VFR-500」大真空系統的。

新開發的大擺錘閥門 「VFR-400」和 「VFR-500」的直徑分別為 16 英寸和 20 英寸。

這些新產品功能如下是。

  1. 此產品不使用一個機械鎖定結構。 一個唯一海豹捕獵結構認識到低振動空缺數目和閉合值的移動 (專利審理的)。
  2. 改進了可維護性,因為放置和離開其閥門牌照是可能的,无需去除閥門框從真空系統。

Last Update: 27. January 2012 01:12

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