Forscher arbeiten an Plasma Etching Technology Improvement zu Nanoelektronik Fabricate

Published on November 15, 2011 at 2:27 AM

Durch Cameron Chai

Heute hat Plasma-Ätz-Technologie in großem Umfang für die Herstellung von Halbleiterbauelementen im Nano-Maßstab bis zu 20 nm verwendet. Lam Research Technologen arbeiten nun an der Weiterentwicklung der Plasma-Ätz-Technologie zu noch kleineren, schnelleren und dicht gepackte Mehrzweck-Chips zu produzieren.

Plasma-Ätz-Technologie macht zart definierten Mustern auf der isolierenden (Dielektrikum) und leitfähigen Schichten des integrierten Schaltkreises (IC)-Chips. Diese Technik ist in der Lage die Entschädigung der Beschränkungen der Lithografie, ein optisches Verfahren verwendet, um Vorlagen für die Herstellung von nanoelektronischen Funktionen auf Silizium-Wafern zu schaffen. Aufgrund der geringeren Größe der Transistoren und anderen Teilen, ist die Lithografie-Technik nicht in der Lage, genaue Vorlagen erstellen, um Millionen von Transistoren auf winzige ICs Platz. Wissenschaftler entwickeln nun extreme Ultraviolett-Lithographie-Technologie, um dieses Problem anzugehen.

Plasma-Ätz-Technologie wird genutzt, um die Mängel des Lithographietechnik durch Polieren der Kanten-und Verpackungskosten Lücken der kleineren Teile des Chips beheben. Diese Technik erweitert die Möglichkeiten der Lithographie wie Doppel-Strukturierung und direkt die Schaffung von Strukturen, die kleiner im Vergleich zu der des Templates. Allerdings hat die Technik hatte auch seine grundlegende Einschränkungen durch die fundamentalen Gesetze der Physik und Chemie entstehen.

Die Technologen bei Lam Research sind zu arbeiten, um effizient zu manipulieren die Eigenschaften der verschiedenen Elemente des Plasma, ein Gas-Gemisch aus neutralen und geladenen Teilchen, in die Plasma-Ätzverfahren. Ihr Ziel ist es, sorgfältig etch ein Atom-Schicht in einer Zeit (atomic-Ätzung), ohne dass der restliche Teil des Materials. Die Plasma-technologie Weiterentwicklung wird entscheidend sein für die Zukunft Generation der Unterhaltungselektronik-Geräte zu produzieren.

Quelle: http://www.aps.org

Last Update: 15. November 2011 08:27

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