Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Forskare Arbetet Plasma Etsning förbättrad teknik för att tillverka nanoelektronik

Published on November 15, 2011 at 2:27 AM

Av Cameron Chai

Numera har plasma-etsning teknik som använts i stor omfattning för tillverkning av halvledarkomponenter på nano-skala ner till 20 nm. Lam Research tekniker arbetar nu på utvecklingen av plasma etsning teknik för att producera ännu mindre, snabbare och tätt packade mångsidig marker.

Plasma etsning teknik gör utsökt bestämda mönster på isolerande (dielektriska) och ledande skikt av integrerade kretsar (IC) chips. Denna teknik kan kompensera de begränsningar av litografi, en optisk teknik som används för att skapa mallar för produktion av nanoelektroniska funktioner på kiselskivor. På grund av den mindre storleken på transistorer och andra delar är litografin tekniken inte kan skapa exakta mallar för att placera miljontals transistorer på små kretsar. Forskarna utvecklar nu Extreme-teknik ultraviolett litografi att ta itu med denna fråga.

Plasma etsning teknik utnyttjas för att åtgärda brister i litografi teknik genom att polera kanterna och packning luckor i mindre delar av chipet. Denna teknik förlänger även funktionerna i litografi, såsom dubbel mönstring och direkt skapa strukturer som är mindre i storlek jämfört med den i mallar. Dock har tekniken hade också sina grundläggande begränsningar som orsakas av grundläggande lagar kemi och fysik.

De teknologer vid Lam Research arbetar på att effektivt manipulera egenskaperna hos de olika delarna av plasma, en gas blandning av neutrala och laddade partiklar, i plasma etsning processen. Deras mål är att noggrant etch en atom lager i taget (atom-lager etsning), utan att påverka den återstående delen av materialet. Plasma tech tekniska framsteg kommer att vara avgörande för att producera den framtida generationen hemelektronikprodukter.

Källa: http://www.aps.org

Last Update: 29. November 2011 22:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit