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EV-Gruppe Führt Neues Gerät ein, um die Funktionalität von Volumen-Herstellungs-Produkten Auszudehnen

Published on December 5, 2011 at 8:39 PM

EV Gruppe (EVG), führend Lieferant von Wafer Masseverbindung und Lithographie Gerät für MEMS, Nanotechnologie- und Halbleitermärkte, kündigte heute an, dass sie eine neue Geräteplattform vorgestellt hat, zurichtet dem XT-Feld, das Prozessdurchsatz und Hilfsmittelfunktionalität für praktisch alle seine aktuellen Volumenherstellung Produktangebote ausdehnt.

Konstruierte Speziell, neue Anforderungen von seinen Großserienherstellungsabnehmern (HVM) anzusprechen, das XT-Feld kann bis neun Prozessblöcke anpassen--vorhergehende maximale erreichbare Fertigungsgenauigkeit VerdoppelungsEVGS für beträchtlich erhöhten Durchsatz. Darüber hinaus haben Abnehmer größere Flexibilität, wenn sie verschiedene Prozessblöcke auf einer einzelnen Hilfsmittelplattform kombinieren. Die Produkte, die auf der neuen XT-Feldplattform aufgebaut werden, sind sofort erhältlich.

Eine zunehmende Anzahl von Einheitentypen, einschließlich Bauteile für Großserienkonsumgüter wie intelligente Telefone und Hörer, werden auf dem Waferniveau produziert--Treiben des Bedarfs an den neuen Lösungen, Produktionsdurchsatz in dem tollen zu erhöhen. XT-Feldplattform EVGS versieht neue ein Gerätenfrontmodul mit einem ultraschnellen Verladesystem, genügende Blockplatz für die Parallelverarbeitung einiger Wafers sowie bis vier Belastungsanschlüsse FOUP (vordere Öffnung vereinheitlichte Hülse). Dieses, kombiniert mit einem materiellen Buffer in Form einer lokalen FOUP-Speicheranlage (LFSS), aktiviert in hohem Grade effiziente kontinuierliche Modusoperation. Außerdem spricht die neue Auslegung zusätzliche Kundenanforderungen wie hohe Prozessflexibilität durch die Kombination von verschiedenen Baumustern von Prozessblöcken auf dem gleichen Gerät, einfachen Ausbaufähigkeit, weiter verbesserten Brauchbarkeit und einem kleinen Gesamtabdruck in dem tollen an.

„Die XT-Feldgeräteplattform ist ein beträchtlicher Schritt nach vorn für die Produktangebote EV-Gruppe für Großserienherstellungsumgebungen,“ angegebener Paul Lindner, Exekutivtechnologiedirektor für EV-Gruppe. „Wir werden am Entwickeln von innovativen Lösungen festgelegt, die den Leistungsumschlag drücken, um unserer Abnehmer zu lösen, die Technologieherausforderungen bei der Senkung ihrer Herstellungskosten bedrängt werden. Wir sehen einen unmittelbaren Bedarf an der größeren Volumenherstellungsfähigkeit im hoch entwickelten Verpacken- und Verbindungs3d Platz, der ist, warum wir unsere EVG850TB-/DBanlage gewählt haben, wie das erste auf der XT-Feldplattform aufgebaut zu werden Hilfsmittel.“

Die neue XT-Feldarchitektur ist eine Ausdehnung Bereich-erwiesener Standardgeräteplattform EVGS, die bis fünf Prozessblöcke liefert. Die Standardgeräteplattform ist auch gerade vor kurzem ausgebaut worden, um erhöhte Automatisierungsfähigkeiten und erhöhten Systemdurchsatz zur Verfügung zu stellen. Als Beispiel ist neues Flaggschiffbaumuster EVGS in der Fusionswafer bonder Familie der ZWILLINGE FB, gestartet an SEMICON Taiwan 2011, jetzt auch mit einem Sonderausrüstungsvorderseiteblock, einem schnelleren Verladesystem und einem lokalen materiellen Buffer erhältlich.

XT-Feld-Plattformstützlösungen EVGS über den adressierbaren Märkten alle Firma, aber ist für hoch entwickelte packaging-/3Dverbindungsanwendungen mit TSVs besonders nützlich (Durchsilikon vias). In diesem Bereich kann die neue Plattform, zum Beispiel weiter erhöhen Sie die Leistung der vorübergehenden Masseverbindung Benchmark EVGS/der Verarbeitungssysteme des debonding und dünnen Wafers. Demofähigkeiten für das XT-Feld sind jetzt auf dem EVG850TB/DB erhältlich, das neue Blöcke EZR (Rand-Zonen-Freigabe) und EZD EVGS auch anpassen kann (Rand-Zone Debond), um Technologie ZoneBOND (TM) zu unterstützen.

Die, die interessiert werden, an dem Lernen mehr über XT-Feldgeräteplattform EVGS neue, können die Firma in Chiba-Stadt, Japan besuchen, in der EVG an SEMICON Japan, 7.-9. Dezember, am Stand #6B-606 ausstellen wird. Mehr Informationen können bei www.EVGroup.com gefunden werden.

Last Update: 12. January 2012 14:27

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