Angewandte Materialien Stellt Vollautomatische Defekt-Inspektion SEM für Schnelle Chip-Produktion vor

Published on December 8, 2011 at 2:01 AM

Durch Cameron Chai

Angewandte Materialien hat seine Anwesenheit in der Defektinspektions-Rasterelektronenmikroskoptechnologie (SEM) mit der Einleitung des erst-von-sein-netten Hilfsmittels festgelegt, das die Angewandte Anlage SEMVision G5 genannt wird, die Chiphersteller zum Bild erlaubt und 20 nm-Ertrag-Begrenzungsunvollkommenheiten ohne manuelle Störung studiert.

Angewandte Anlage SEMVision G5

Die Anlage SEMVision G5 kann Bild und Unvollkommenheiten zu 1 nm-Pixelgröße unten zu entdecken. Mit der Anlage können Speicher- und Logikabnehmer ihre Produktion jetzt rationalisieren und die Ursache von Unvollkommenheiten genau und schnell entdecken. Wenn seine beispiellose Bildqualität vorangebracht ist, 1 nm-Pixelgröße und starker Inspektionsmotor, entdeckt die DR-SEM Anlage und prüft Unvollkommenheiten in den verwickelten kopierenden Schichten, beim Verbessern der Ausgabe.

Die Anlage SEMVision G5 stellt das eindeutige Standardunterscheiden wirklich und die Fehlalarme ein oder, wenn sie Belästigungsdefekte entdeckt. Seine Genauigkeit und Operationsdrehzahl sind weit besser, als ein erfahrener Operator, Abnehmer machend schnell mehr Zahl von Wafers prüfen, die der Reihe nach ErtragStufenhöhen und Schleifen des Lernens verbessert.

Plattform der Offenen Architektur, die Anlage SEMVision G5 erlaubt das Mergen von Informationen erreicht von einem Waferprüfmittel mit einer Sammlung vorher festgelegt Inspektionsstrategien. Die Anlage beseitigt den Bedarf, Strategien manuell zu erstellen, da sie Inspektionsstrategien automatisch erzeugen kann, basiert auf dem Baumuster von den geprüft zu werden Chips. Dieses Merkmal hilft Gießereifirmen, schnelle Produktion ihrer Reichweite der Chip-Entwürfe mit mit hohem Ausschuss zu erzielen.

Angewandte Materialien' UnternehmensVizepräsident und Generaldirektor für ProzessDiagnostik- und Steuerunternehmenseinheit, gab Itai Rosenfeld das mit seinem verringern Freisprechanflug und überlegene Darstellungsfunktionalitäten an, die Anlagen-Hilfsabnehmer SEMVision G5 Marktreichweite Zeit, die wichtig ist, die kurzen Produktschleifen zu erreichen.

Quelle: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 12. January 2012 14:27

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