应用的材料揭幕迅速筹码生产的全自动机械的缺陷检验 SEM

Published on December 8, 2011 at 2:01 AM

卡梅伦柴

应用的材料在缺陷检验与称允许 (SEM)芯片制造者对图象的应用的 SEMVision G5 系统的一流的工具的简介的扫描电子显微镜技术设立了其存在并且学习 20 个毫微米产量限制的缺点没有手工干涉。

应用的 SEMVision G5 系统

SEMVision G5 系统能图象和检测缺点下来到 1 个毫微米象素范围。 这个系统,内存和逻辑客户能现在简化他们的生产和精密地和迅速地检测缺点的原因。 当其史无前例的图象质量,提前 1 个毫微米象素和范围有力检验引擎, DR-SEM 系统检测并且检查在复杂仿造的层的缺点,当改进输出时。

SEMVision G5 系统规定区分实际和假警报或在检测的唯一标准讨厌缺陷。 其准确性和运算速度比一个有经验的运算符,做客户迅速检查薄酥饼的好更多编号,反过来改进产量舷梯了解的费率和循环。

开放式体系结构平台, SEMVision G5 系统允许从薄酥饼检验设备信息获得的合并与预定义的检验方法的一收集。 这个系统消灭需要根据将被检查的筹码的种类手动地创建方法,当它可能自动地生成检验方法。 此功能帮助铸造厂公司达到他们的芯片设计的范围的迅速生产与高产的。

应用的材料’总公司副总统和处理诊断和控制的总经理营业单位, Itai Rosenfeld 声明那与其没有雇工的途径和优越想象功能, SEMVision G5 系统帮助客户减少市场伸手可及的距离时间,是重要获得短的积循环。

来源: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 12. January 2012 14:21

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