應用的材料揭幕迅速籌碼生產的全自動機械的缺陷檢驗 SEM

Published on December 8, 2011 at 2:01 AM

卡梅倫柴

應用的材料在缺陷檢驗與稱允許 (SEM)芯片製造者對圖像的應用的 SEMVision G5 系統的一流的工具的簡介的掃描電子顯微鏡技術設立了其存在并且學習 20 個毫微米產量限制的缺點沒有手工干涉。

應用的 SEMVision G5 系統

SEMVision G5 系統能圖像和檢測缺點下來到 1 個毫微米像素範圍。 這個系統,內存和邏輯客戶能現在簡化他們的生產和精密地和迅速地檢測缺點的原因。 当其史無前例的圖像質量,提前 1 個毫微米像素和範圍有力檢驗引擎, DR-SEM 系統檢測并且檢查在複雜仿造的層的缺點,當改進輸出時。

SEMVision G5 系統規定區分實際和假警報或在檢測的唯一標準討厭缺陷。 其準確性和運算速度比一個有經驗的運算符,做客戶迅速檢查薄酥餅的好更多編號,反過來改進產量舷梯瞭解的費率和循環。

開放式體系結構平臺, SEMVision G5 系統允許從薄酥餅檢驗設備信息獲得的合併與預定義的檢驗方法的一收集。 這個系統消滅需要根據將被檢查的籌碼的種類手動地創建方法,當它可能自動地生成檢驗方法。 此功能幫助鑄造廠公司達到他們的芯片設計的範圍的迅速生產與高產的。

應用的材料』總公司副總統和處理診斷和控制的總經理營業單位, Itai Rosenfeld 聲明那與其沒有雇工的途徑和優越想像功能, SEMVision G5 系統幫助客戶減少市場伸手可及的距離時間,是重要獲得短的積循環。

來源: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 27. January 2012 02:37

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