Tegal Beendet Nanolayer-Absetzungs-Patent-Effektenbestand-Verkauf

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

Durch Cameron Chai

Tegal hat erklärt, dass es Patente seines nanolayer Absetzungs-Patenteffektenbestands (NLD) für drei gebotene Lots zu einigen Bewerbern herausgegeben hat. Die Gesamtanzahl von den gebotenen Lots, die für Verkauf angeboten werden, ist vier, der an ungefähr $4 Million bewertet wird. Bis jetzt hat die Firma ungefähr $3,6 Million empfangen.

Der NLD-Patenteffektenbestand enthält über 35 Vereinigten Staaten und internationalen Patenten auf den Gebieten von NLD, von Plasma-erhöhter Atom-schicht Absetzung (ALD) und von Pulsierenchemikalie Bedampfen (CVD). Mehr als 30 Patente des Effektenbestands sind von der Firma verkauft worden.

Die Verfahrenstechnik, NLD kombiniert die Vorteile vom in hohem Grade konformen, niedrig während ALD und des nicht-konformen, hohen Durchsatz CVD. Als Teil seiner Kapitalabzugstrategie, zum der Aktiva zu verkaufen, die auf Investitionsgütern des Halbleiters in Verbindung gestanden wurden, entschied sich Tegal, den NLD-Patenteffektenbestand dieses Jahr zu verkaufen.

im Februar 2010, SPTS angesiedelt in Newport, Wales, das Vereinigtes Königreich gekauften des Tegals tiefe reagierende Ionenätzungsgeschäft. Nachfolgend SOEM-Gruppe basiert in Gilbert, Arizona, erworbenes körperliches Bedampfen und DünnschichtätzungsProduktlinien von Tegal im März 2010.

Zur Zeit arbeitet Tegal ein, um das Lot 4 zu verkaufen des Effektenbestands, das Patente von niedrig--K Nichtleiter- und Kupfersperrentechnologien umfaßt. Der HauptTechnologe der Firma, Robert Ditizio erklärte, dass Gerätenproduzenten Zinsen an den ersten drei Lots zeigten, während Einheitsproduzenten der integrierten Schaltung Zinsen am vierten Lot zeigen.

Quelle: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:20

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