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Tegal Termina Venta de la Cartera de la Patente de la Deposición de Nanolayer

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

Por Cameron Chai

Tegal ha declarado que ha publicado patentes de su cartera de la patente (NLD) de la deposición del nanolayer para tres lotes hechos una oferta a varios licitadores. El número total de lotes hechos una oferta ofrecidos para la venta es cuatro, que se valora en áspero $4 millones. Hasta ahora, la compañía ha recibido áspero $3,6 millones.

La cartera de la patente de NLD comprende sobre 35 Estados Unidos y patentes internacionales en los campos de NLD, de la deposición plasma-aumentada de la atómico-capa (ALD) y de la deposición de vapor de la pulsar-substancia química (CVD). Más de 30 patentes de la cartera han sido vendidas por la compañía.

La tecnología de proceso, NLD combina las ventajas del altamente conformal, bajo en ALD y el CVD no-conformal, alto de la producción. Como parte de su estrategia de la desinversión para vender el poderío relacionado con los bienes de equipo del semiconductor, Tegal decidía vender la cartera de la patente de NLD este año.

en Febrero de 2010, SPTS basado en Newport, País De Gales, el asunto reactivo profundo del grabado de pistas del ión del Tegal comprado Reino Unido. Posteriormente, Grupo del OEM basado en Gilbert, Arizona, deposición de vapor física detectada y líneas de productos del grabado de pistas de la fino-película de Tegal en marzo de 2010.

Actualmente, Tegal está trabajando conectado para vender el lote 4 de la cartera que reviste patentes de las tecnologías inferiores-k de la barrera del dieléctrico y del cobre. El Principal Tecnólogo de la compañía, Roberto Ditizio declaró que los productores del equipo mostraron interés en los primeros tres lotes, mientras que los productores del dispositivo del circuito integrado están mostrando interés en el cuarto lote.

Fuente: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:34

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