Tegal は Nanolayer の沈殿パテントのポートフォリオの販売を完了します

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

カメロンシェ著

Tegal は何人かの入札者に 3 つの値をつけられたロットのための (NLD) nanolayer の沈殿パテントのポートフォリオのパテントを出したと宣言しました。 大体 $4,000,000 で評価される販売のために提供される値をつけられたロットの総数は 4 です。 これまでは、会社は大体 $3.6 百万を受け取りました。

NLD のパテントのポートフォリオは NLD、血しょう高められた原子層の沈殿および脈打化学薬品の蒸気沈殿のフィールドの 35 米国そして (ALD)国際的なパテントに構成します (CVD)。 ポートフォリオの 30 以上のパテントは会社によって販売されました。

加工技術、 NLD は ALD および非等角、高いスループット CVD 全体の非常に等角の利点を、低く結合します。 半導体の資本設備と関連していた資産を販売する剥奪の作戦の一部として Tegal は NLD のパテントのポートフォリオを今年販売することにしました。

ニューポートで、ウェールズ基づく、 2 月 2010 年、 SPTS イギリスによって購入される Tegal の深い反応イオン腐食ビジネスでは。 続いて、 Gilbert で、 2010 年 3 月の Tegal からのアリゾナ基づく、 OEM のグループ得られた物理的な蒸気沈殿および薄膜の腐食の製品種目。

現在、 Tegal は低k 誘電体および銅の障壁の技術のパテントをカバーするポートフォリオのロット 4 を販売するために働いています。 会社のロバート Ditizio、主な科学技術者は集積回路装置生産者は第 4 ロットの興味を示しているが装置の生産者が最初の 3 つのロットの興味を示したことを示しました。

ソース: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:24

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