Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Tegal Завершает Сбывание Портфолио Патента Низложения Nanolayer

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

Камероном Chai

Tegal объявило что оно выдало патенты своего портфолио патента (NLD) низложения nanolayer для 3 предложенных цену серий к нескольким покупщиков. Общее количество предложенных цену серий предложенных для сбывания 4, которое оценено на грубо $4 миллиона. До тех пор, компания получала грубо $3,6 миллиона.

Портфолио патента NLD состоит из над 35 Соединенные Штаты и международные патенты в полях NLD, плазм-увеличенного низложения атомн-слоя (ALD) и низложения пара пульсировать-химиката (CVD). Больше чем 30 патентов портфолио были проданы компанией.

Технологический прочесс, NLD совмещает преимущества сильно конформного, низко в течении ALD и non-конформного, высокого CVD объём. Как часть своей стратегии изъятия инвестиций для того чтобы продать имущества отнесенные к капитальному оборудованию полупроводника, Tegal решило продать портфолио патента NLD этот год.

в Феврале 2010, SPTS основанное в Ньюпорте, Уэльс, дело etch иона Tegal закупленного Великобританией глубокое реактивное. Затем, Группа OEM основанная в Гилберте, Аризона, приобретенное физическое низложение пара и тонкопленочные номенклатуры товаров etch от Tegal в марте 2010.

В настоящее время, Tegal работает дальше для того чтобы продать серию 4 портфолио которая покрывает патенты низких-k технологий барьера диэлектрика и меди. Главный Технолог компании, Роберта Ditizio заявил что производители оборудования показали интерес в первых 3 сериях, пока производители прибора интегральной схемаы показывают интерес в четвертой серии.

Источник: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit