Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Tegal Avslutar Sale för Portfölj för Nanolayer AvlagringPatent

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

Vid Cameron Chai

Tegal har förklarat att den har utfärdat patent av dess portfölj för nanolayer (NLD)avlagringpatent för tre anbudlott till flera spekulanter. Slutsumman numrerar av anbudlott erbjöd till salu är fyra, som värderas på ungefärligt $4 miljoner. Så långt, har företaget mottagit ungefärligt $3,6 miljoner.

NLD-patentportföljen består av över 35 United States, och landskamppatent i sätter in av NLD, plasma-förhöjd atom--lagrar avlagring (ALD) och pulsera-kemisk dunstavlagring (CVD). Mer än 30 patent av portföljen har sålts av företaget.

Den processaa teknologin, NLD-sammanslutningar fördelarna av den högt conformal låga alltigenom ALD och detconformal, kickgenomgångsCVD. Som del av dess avveckling av investeringstrategi förband att sälja tillgångarna till halvledarehuvudstadutrustning, Tegal avgjorde att sälja NLD-patentportföljen detta år.

I Februari 2010, inhandlade SPTS som baserades i Newport, Wales, Förenade kungariket Tegals djupa reactive jon etsar affär. Därpå tunn-filmar OEM-Gruppen som baseras i Gilbert, Arizona, fången läkarundersökningdunstavlagring och, etsar produkten fodrar från Tegal i Mars 2010.

I dagsläget är förkopprar Tegal funktionsduglig på att sälja portfölj mycket 4, som täcker patent av den låga-K dielectricen, och barriärteknologier. Den Högsta Technologisten av företaget, Robert Ditizio påstod, att visade utrustningproducenter intresserar i de första tre lotten, integrerade stunder - gå runt apparatproducenter är visningen intresserar i fjärde mycket.

Källa: http://www.tegal.com

Last Update: 27. January 2012 12:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit