Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Tegal 完成 Nanolayer 证言专利投资组合销售额

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

卡梅伦柴

Tegal 宣称它发行了其三被投标的批次的 (NLD) nanolayer 证言专利投资组合专利给几个投标人。 为销售额提供的被投标的批次的总数是四,被重视在大致 $4 百万。 到目前为止,这家公司接受了大致 $3.6 百万。

NLD 专利投资组合包括 35 美国和国际专利在 NLD、等离子改进的基本层证言 (ALD)和搏动化学制品蒸气喷镀领域 (CVD)。 超过这个投资组合的 30 个专利由这家公司出售。

这种加工技术, NLD 结合好处的高度保形,低在 ALD 和非保形,高处理量 CVD 中。 作为其出售资产的剥除方法方法一部分与半导体资本器材有关, Tegal 决定今年出售 NLD 专利投资组合。

在 2月在纽波特根据的 2010年, SPTS,威尔士,英国被采购的 Tegal 的深刻的易反应的离子铭刻商业。 随后,在 Gilbert 根据的 OEM 组,亚利桑那、获取的实际蒸气喷镀和薄膜铭刻产品线从 Tegal 在 2010年 3月。

当前, Tegal 运作出售包括低的 k 电介质和铜障碍技术专利的投资组合的批次 4。 这家公司的首席技术专家,罗伯特 Ditizio 阐明,设备生产者在前三批次上表示了兴趣,而集成电路设备生产者在第四批次上表示兴趣。

来源: http://www.tegal.com

Last Update: 11. January 2012 04:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit