Tegal 完成 Nanolayer 證言專利投資組合銷售額

Published on January 2, 2012 at 12:01 AM

卡梅倫柴

Tegal 宣稱它發行了其三被投標的批次的 (NLD) nanolayer 證言專利投資組合專利给幾個投標人。 為銷售額提供的被投標的批次的總數是四,被重視在大致 $4 百萬。 到目前為止,這家公司接受了大致 $3.6 百萬。

NLD 專利投資組合包括 35 美國和國際專利在 NLD、等離子改進的基本層證言 (ALD)和搏動化學製品蒸氣噴鍍領域 (CVD)。 超過這個投資組合的 30 個專利由這家公司出售。

這種加工技術, NLD 結合好處的高度保形,低在 ALD 和非保形,高處理量 CVD 中。 作為其出售資產的剝除方法方法一部分與半導體資本器材有關, Tegal 決定今年出售 NLD 專利投資組合。

在 2月在紐波特根據的 2010年, SPTS,威爾士,英國被採購的 Tegal 的深刻的易反應的離子銘刻商業。 隨後,在 Gilbert 根據的 OEM 組,亞利桑那、獲取的實際蒸氣噴鍍和薄膜銘刻產品線從 Tegal 在 2010年 3月。

當前, Tegal 運作出售包括低的 k 電介質和銅障礙技術專利的投資組合的批次 4。 這家公司的首席技術專家,羅伯特 Ditizio 闡明,設備生產者在前三批次上表示了興趣,而集成電路設備生產者在第四批次上表示興趣。

來源: http://www.tegal.com

Last Update: 27. January 2012 03:19

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