WNLO para obter Agradecimentos das Capacidades da Litografia de Feixe de Elétron a Vistec

Published on January 16, 2012 at 5:36 PM

A Litografia de Vistec, B.V. é satisfeito anunciar hoje esse Laboratório Nacional de Wuhan para a Óptica Electrónica (WNLO) na Universidade de Huazhong da Ciência e a Tecnologia (HUST) em Wuhan, P.R. de China assinou fora de seu sistema Vistec EBPG5000pES da litografia do elétron-feixe.

Sistema da litografia de feixe de elétron de Vistec EBPG5000pES.

Os WNLO, um laboratório nacional no campo da óptica electrónica, HUST, uma universidade chave nacional em China, e a Litografia de Vistec, um fornecedor principal de sistemas da litografia do elétron-feixe, consideram esse evento como um marco miliário principal em sua parceria estratégica.

O sistema da litografia do elétron-feixe de Vistec EBPG5000pES permitirá WNLO de reforçar mais sua posição principal na investigação e desenvolvimento do photonics e da óptica electrónica. “O EBPG5000pES facilita-nos para conseguir todos os desafios que da litografia nós estamos enfrentando em nossa pesquisa. Com respeito ao apoio e o serviço da aplicação nós sabemos que nós podemos contar na equipe de Vistec como nosso parceiro estratégico”, Prof. indicado Jinsong Xia, director da Micro & Fabricação Optoelectronic e Facilidade Nano da Caracterização (OMFC) em WNLO.

O Vistec EBPG5000pES é uma ferramenta da litografia da parte alta baseada na arquitetura de sistema segura e bem-provada. Com sua fonte da coluna elétron-óptica flexível e do brilho alto TFE, permitindo 50 e operação 100kV, o sistema fornece um tamanho de ponto para baixo a <2.2nm, assim permitindo as estruturas da nano-litografia menores do que 8nm de ser gerado rotineiramente. O sistema incorpora uma interface de utilizador gráfica interactiva (GUI) que forneça a acessibilidade para diverso, multiusuário, tipo ambientes da universidade.

“Nós somos muito satisfeitos ter alcançado este marco miliário significativo em nossa parceria com o WNLO em HUST, que pode ser assegurado que Vistec o estará apoiando ao muito melhor”, dissemos Erwin Mueller, Litografia de Vistec do Director Administrativo, B.V. “que O sistema da litografia de feixe de elétron em WNLO é o primeiro Vistec operacional EBPG5000pES na República Popular da China, que abre grandes oportunidades a um desenvolvimento de negócios sustentável para Vistec nessa região.”

Last Update: 16. January 2012 23:54

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