WNLO som får Elektronen, Strålar LithographyKapacitetsTack till Vistec

Published on January 16, 2012 at 5:36 PM

Vistec Lithography, B.V. behas för att meddela i dag det Wuhan MedborgareLaboratorium för Optoelectronics (WNLO) på den Huazhong Universitetar av Vetenskap, och Teknologi (HUST) i Wuhan, P.R. av Kina undertecknade av dess elektron-strålar lithographysystemet Vistec EBPG5000pES.

Den Vistec EBPG5000pES elektronen strålar lithographysystemet.

WNLONA, ett medborgarelabb i sätta in av optoelectronics, HUST, en nyckel- universitetar för medborgare i Kina och Vistec Lithography, en ledande leverantör av elektron-strålar lithographysystem, betraktar den händelse som en ha som huvudämnemilstolpe i deras strategiska partnerskap.

Vistecen EBPG5000pES elektron-strålar det ska lithographysystemet möjliggör WNLO vidare för att förstärka dess leda placerar i photonics och optoelectronicsforskning och utveckling. ”Gör EBPG5000pESen oss lättare för att uppnå alla lithographyutmaningar som vi vänder mot i vår forskning. I respekt till applikationservice och serva oss vet, att vi kan räkna på det Vistec laget som vår strategiska partner”, påstådd Prof. Jinsong Xia, direktör av den Optoelectronic den Mikro & Nano Fabriceringen och KarakteriseringLättheten (OMFC) på WNLO.

Vistecen EBPG5000pES är enavsluta lithography bearbetar baserat på pålitlig och brunn-bevisad systemarkitektur. Med dess böjliga elektron-optiska kolonn- och för kickljusstyrka TFE källa och att låta 50 och funktionen 100kV, ger systemet en fläck storleksanpassar besegrar till <2.2nm, således möjliggöra nano-lithography strukturerar mindre än 8nm som rutinmässigt ska frambrings. Systemet inkorporerar en växelverkande grafisk användare har kontakt (GUI) som ger lindrar - av - bruk för olikt som är multiuser, universitetartypmiljöer.

”Är Vi mycket nöjda att ha nett denna viktiga milstolpe i vårt partnerskap med WNLO på HUST, som kan försäkras att Vistec ska är understödja dem till det mycket bäst”, sade Erwin Mueller, DisponentVistec Lithography, B.V., ”som Elektronen strålar lithographysystemet på WNLO är den första fungerande Vistecen EBPG5000pES i People'set Republic of China, som öppnar stora tillfällen till en hållbar näringslivsutveckling för den Vistec däri regionen.”,

Last Update: 27. January 2012 13:10

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit