獲得電子束光刻功能由於的 WNLO Vistec

Published on January 16, 2012 at 5:36 PM

Vistec 石版印刷, B.V. 高興地在 Huazhong 科技大學今天宣佈光電子學的 (WNLO) 該武漢國家實驗室 (HUST) 在武漢,中國的 P.R. 簽了字其電子射線石版印刷系統 Vistec EBPG5000pES。

Vistec EBPG5000pES 電子束光刻系統。

WNLO、一個國家實驗室在領域的光電子學, HUST、國家關鍵大學在中國和 Vistec 石版印刷,電子射線石版印刷系統的一個主導的供應商,該活動把一個主要重要事件視為在他們有戰略意義的合夥企業。

Vistec EBPG5000pES 電子射線石版印刷系統將使 WNLO 進一步加強其在 photonics 和光電子學研究與開發的基礎地位。 「EBPG5000pES 實現我們達到我們在我們的研究面對的所有石版印刷挑戰。 關於應用技術支持和服務我們知道我們在 Vistec 小組可以算作是我們的戰略夥伴」,指明的教授 Jinsong Xia,光電子微 & 納諾製造和描述特性設備 (OMFC) 的主任在 WNLO。

Vistec EBPG5000pES 是在可靠和證明的系統建築基礎上的一個高端石版印刷工具。 其靈活的電子光學列和高亮度 TFE 來源,允許 50 和 100kV 運算,這個系統小於 8nm 提供一條光點直徑下來給 <2.2nm,因而使納諾石版印刷結構定期地被生成。 這個系統合併為不同提供易用 (GUI),多用戶的一個交互選擇圖形用戶界面,大學類型環境。

「我們是非常喜悅到達了在我們的合夥企業的此重大的重要事件與 WNLO 在 HUST,可以是確定的 Vistec 支持他們對最佳」,說埃爾溫米勒,總經理 Vistec 石版印刷, B.V. 「在 WNLO 的電子束光刻系統是第一可操作的 Vistec EBPG5000pES 在中華人民共和國,對 Vistec 的持續業務發展開張重要機遇在該區域」。

Last Update: 27. January 2012 04:02

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