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シンガポールの研究所は Arradiance の ALD のツールのための注文します

Published on January 19, 2012 at 1:54 AM

カメロンシェ著

Arradiance は研究および技術のためのシンガポール MIT 同盟が (スマートな) Arradiance の GEMStar-8 の benchtop の原子層の沈殿システムのための注文したことを (ALD)発表しました。 それはシステムのための会社の最初発注です。

GEMStar-8 benchtop ALD システム

GEMStar は 8 つまでの前駆物質の利用によって 8" の直径を持っているウエファーを処理することができます。 それ故に、それに最も困難ののために設計されている複雑な調理法高面の比率アプリケーションを処理する多様性があります。

超高度のアスペクトレシオおよび敏感なマイクロチャンネルの構造の広範な経験と、会社がフィルムを繰り返し、均一そして効率的に沈殿させることができるシステムのための必要を理解することを Arradiance のプロセス開発のディレクターおよび、主な科学者は Philippe de Rouffignac 先生示しました。 Rouffignac は研究者の条件を達成するために会社がまたそれを理解するシステムコンパクト、強力多目的でなければなりませんアプリケーション、材料および基板の広いアレイを取扱うために付け加えました。

MIT の研究の科学者に従って、 Mayank Bulsara 先生は、 GEMStar ALD のツールのためのスマートの条件を達成します。 Bulsara は GEMStar が複数を扱うコンパクト、適用範囲が広いことができる洗練された半導体プロセス開発およびチップデザイン作業のために必要とされる 8 インチのウエファー付け加えました。

Arradiance のケン Stenton、経営最高責任者は製品開発、システム・エンジニアおよび物質科学の広い知識と、会社がエンジニアおよび研究者のための強力な ALD のツールを発達させたことを示しました。 それ以上の Stenton は GEMStar-8 benchtop ALD のツールがすべての必要性を越えること会社が確信していると言いました。

ソース: http://www.arradiance.com/

Last Update: 22. January 2012 10:27

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