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EV 단 발사 2세 HB-LED 제조자를 위한 완전히 자동화된 가면 줄맞춤 시스템

Published on February 8, 2012 at 10:03 PM

EV 단 (EVG), 향상된 반도체 및 포장을 위한 웨이퍼 접합과 석판인쇄술 장비의 주요한 공급자, 합성 반도체, MEMS, 실리콘 온 인슐레이터 (SOI) 및 나오기 나노 과학 시장은, 오늘 EVG620HBL Gen II를 알렸습니다--2세는 완전히 높 광도 발광 다이오드 (HB LEDs)의 양 제조를 위한 가면 줄맞춤 시스템을 자동화했습니다.

1 년 일세 EVG620HBL의 발사가, Gen II 총 비용 의 소유권 감소의 HB-LED 고객 특정 필요 그리고 전진하는 수요를 언급하기 위하여 맞추어진 공구 플래트홈을 전달한 후에 소개하는. EVG620HBL Gen II는 또한 놀라우 것에 있는 공구 발자국을 낙관합니다--청정실 공간의 각 평방 미터를 위한 더 높은 웨이퍼 산출 55% 전달하는 것은 경쟁적인 제물에 비교했습니다.

EVG620HBL Gen II--2세는 완전히 EV 단에게서 높 광도 발광 다이오드의 양 제조를 위한 가면 줄맞춤 시스템을 자동화했습니다.

토마스 Uhrmann, 주의된 EV 단을 위한 사업 개발 매니저 박사는, "HB-LED 시장 이고 동 적이고 단단 변경하, 우리의 고객은 끊임없이 혁신적인 해결책을 그들의 산출 및 자본 투자가 확대되고 있다는 것을 지키는 필요로 합니다. 효과적인 해결책을지 전달하기 위하여 EVG가 그것의 고객의 필요에 HB-LED 제조에 있는 그것의 전문 기술을 레버리지를 도입해서 빨리 어떻게의 반응하는지 EVG620HBL Gen II는 훌륭한 보기입니다. 이미 지금 우리의 일세 가면 줄맞춤 공구를 가진 사실상 업계 표준인 입증된 플래트홈을 건설하고, 우리는 EVG620HBL Gen II가 경쟁적인 제물에 경제적인 간격을." 더 넓힐 것이라고 예상합니다 오늘날, EVG의 bonders와 가면 동기기는 최고 5개의 중요한 HB-LED 제조자의 4에 의해 배치되고 있습니다.

가격 할인과 수확량 증진을 위한 확대 수요는 소유권의 총경비 식으로 테이블에 가져오는 무슨을 장비 공급자가 재고하도록 요구합니다. 이것은 수확량을 확대하 석판인쇄술을 위해 가면 줄맞춤에 특히 확실합니다 중대합니다 LED 기술의 장기 성장 가능성 성취에. EVG620HBL Gen II는 새로운 특징 다수로 겨냥했습니다 충분한 높은 볼륨 제조 고객의 (HVM) 특정 수요를 채비를 차려 줍니다:

  • 자동화된 가면 패턴 수색을 지원하는 강화된 현미경,
    가면 준비와 변경 시간을 더 감소시킵니다--중요한
    HVM 환경에 있는 지속적인 장치 생산을 가능하게 하기에;
  • 기능을 지도로 나타내는 웨이퍼를 가진 개정하는 로봇식 취급 배치,
    웨이퍼 traceability를 위한 수요를 지원합니다;
  • 레버리지를 도입하는 향상된 줄맞춤 기능 (선 줄맞춤),
    요구 대신에 오리엔테이션을 위한 단 하나 LEDs를 표시하는 격자
    웨이퍼에 귀중한 공간을 채택하는 줄맞춤 표;
  • 소유권의 총경비를 낙관하는 감소된 시스템 발자국,
    발자국 당 웨이퍼가 색인을 붙이는 증가와 작동.

함께, 이들은 EVG620HBL Gen II에 증진을 가능하게 합니다 경쟁적인 제물과 비교된 비용 당 가공한 웨이퍼에 있는 20 퍼센트 감소를 잠급니다.

EVG의 필드 증명한 가면 동기기 플래트홈에 건축해, EVG620HBL 시리즈는 고강도 자외선 (UV) 근원 및 선택적인 필터 팬 수확량을 확대하고 시간 (첫번째 인쇄 모드에 있는 시간 당 220까지 웨이퍼) 당 165 6 인치까지 웨이퍼의 기업에서 가장 높은 웨이퍼 처리량을 가능하게 하기 위하여 부대를 특색짓습니다. EVG620HBL의 또 다른 주요 특징은 사파이어, 실리콘 탄화물 (SiC), 알루미늄 질화물 (AlN), 금속 및 세라믹과 같은 향상된 기질 물자를 포함하여 각종 웨이퍼와 층 물자와의 최고 패턴 대조를, 지키기 위하여 그의 조명 스펙트럼이 변화되고 낙관될 수 있는 특별한 조리법 통제되는 현미경의 가용성입니다. EVG620HBL 시리즈는 2개를 - 6 인치 웨이퍼 가공합니다.

EVG620HBL Gen II는 구입을 위해 즉각 유효합니다. 이 공구에 관하여 추가 정보를 위해, www.evgroup.com를 방문하거나 산타클라라, 2012년2월 7-9일 에서 캘리포니아에 있는 가벼운 회의에 있는 전략에 회사를 방문하십시오. 토마스 Uhrmann EVG의 박사는 "높은 처리량 석판인쇄술 및 금속 웨이퍼 접합에 제출할 것입니다: 목요일, 8:30 A.m 태평양 표준시에 2월 9일에 회의에 미래 높 광도 LEDs를 위한 2개의 가능하게 하는 기술".

Last Update: 14. February 2012 09:44

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