Tegal Continua le Discussioni Per Vendere il Portafoglio Nano Restante di Brevetto del Deposito del Livello

Published on February 16, 2012 at 12:58 AM

Da Cameron Chai

Tegal ha dichiarato che è corrente durante le discussioni per vendere il quarto lotto del suo portafoglio nano di brevetto del deposito del livello pertinente ai trattamenti a semiconduttore.

Il portafoglio restante riguarda le tecnologie della trasformazione e le strutture della pellicola sottile pertinente alle tecnologie basse-K della barriera del rame e del dielettrico. Tegal aveva venduto i lotti nani del suo del livello del deposito portafoglio di brevetto 1-3, comprendenti il 30 dicembre 2011 più di 30 brevetti, a parecchi offerenti per una somma totale di approssimativamente $4 milioni. I produttori dei beni strumentali Hanno mostrato l'interesse in questi brevetti, mentre gli aggregatori (IP) della proprietà intellettuale e produttori dell'unità di IC stanno mostrando l'interesse nel quarto lotto.

I trattamenti Integrati saranno una fase essenziale di tutto il metodo di lavorazione integrato per i dielettrici bassi-K specializzati che usano le pellicole basse-K porose. Inoltre, il portafoglio del brevetto di Tegal comprende le soluzioni per i livelli di aderenza e gli strati di sbarramento compositi per le strategie di rame della metalizzazione, che sono risultato essere più significative per applicazione a spruzzo chimica, il deposito nano del livello, il deposito atomico del livello dei livelli multipli quali gli strati di sbarramento, i livelli di aderenza ed i livelli del seme di Mo, di Ru o di Cu.

I Sostituti ai metodi fisici attuali di applicazione a spruzzo con i metodi atomici del deposito del livello ed i loro derivati stanno esplorandi per soddisfare le condizioni di copertura migliore di punto, di più alti allungamenti e di controllo della diffusione del Cu. Queste necessità a loro volta aumentano le esigenze nei confronti del controllo accurato degli schemi specializzati della metalizzazione, particolarmente ai livelli più bassi della metalizzazione sulle unità specializzate di CMOS.

Per rompere le restrizioni di copertura di punto dei metodi fisici di applicazione a spruzzo, i rivelatori sono secondo il deposito nano del livello e tecniche atomiche del deposito del livello per la costruzione del seme, aderenza e strati di sbarramento con accuratezza atomica del livello e controllo della stechiometria, dell'uniformità e dello spessore. Con i brevetti di Tegal, gli aggregatori del IP ed i rivelatori di IC possono rinforzare il loro portafoglio di brevetto per gli schemi specializzati della metalizzazione, particolarmente ideale per la trasformazione da applicazione a spruzzo fisica al deposito atomico del livello e ad altri metodi del livello-da-livello.

Sorgente: http://www.tegal.com/

Last Update: 18. February 2012 08:14

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