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MIT の研究者は MEMS ベースの三次元マイクロチップを発達させます

Published on March 1, 2012 at 4:47 AM

カメロンシェ著

マサチューセッツ工科大学 (MIT) の研究者は既存の生産プロセスを使用して三次元マイクロチップを作成するために革新的なアプローチをしました。

新しいアプローチのヘルプの研究者は小さい三次元構造を作ります。 Pictured 2 つの包まれたマイクロチップ、表面で製造される小さい橋とのそれぞれです。

MIT の研究者は 1 つのチップだけの 3D 感知を可能にする MEMS 装置を発達させました。

一般に、二次元 MEMS 装置は加速プロセスを検出するために製造されたです。 通常、研究者はそれ三次元 MEMS を正確なオリエンテーションと多くの装置をマージするために案出することが高価で、複雑なプロセス含むことを考えました。

多くの研究者はポリマーを使用して三次元装置を発達させるように試みました。 これらの装置は石版印刷を使用して製造され、コグ、マイクロタービンおよび小さいギヤで使用されました。

航空学および宇宙航行学の部門からの博士研究員は、ファビオ Fachin はそのケイ素を言いましたよる、温度および耐久性への抵抗にポリマーに、取り替えることができます。 ただし、彼は製造プロセスがケイ素で困難である付け加えました。

製造のために、エンジニアは深い反応イオン・エッチング方法を使用しました。 この方法を使用して、二次元の構造はウエファーに切り分けられます。 この方法は構造がチップの表面に上がるので、部分的な 3D 構成だけ作り出します。 更に、 MEMS エンジニアはチップの表面上の片持梁か小さい二次元橋を製造しました。 最後に、高精度と、少し力は構造に橋を固定するために用いられました。

チームはプロセスの最後の段階の難しさを克服するのに残留圧力を、使用しました。 あらゆる橋で構造は応用力の消失の後でさえも残留圧力を置きます。 Fachin の研究者のグループは薄い材料の残留圧力および柔軟性および幾何学間の microbeam 構成そして形作られた equational 関係について詳しく説明する前の調査に続きました。 これらの計算が必須の形を作り出すために橋を修正するのに使用されました。 この分析的なツールが三次元装置を設定するのに使用されました。

MIT、ブライアン Wardle の航空学そして宇宙航行学の助教授
MEMSIC co からのステファン Nikles は Fachin を三次元装置を発達させるために使用しました。

Microelectromechanical システムのジャーナルはこの調査を出版することに同意しました

ソース: http://web.mit.edu/

Last Update: 1. March 2012 19:47

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