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Posted in | Microscopy

Carl Zeiss-Produkteinführung FIB-SEM mit Laser-Entfernungs-Fähigkeiten

Published on March 11, 2012 at 10:15 AM

Carl Zeiss hat den AURIGA Laser, eine neue hoch entwickelte Anlage gestartet, welche die spezifischen Vorteile des kombiniert Arbeitsplatzes AURIGA Querträgers (FIB-SEM) mit den Fähigkeiten eines pulsierten Mikrofokus Lasers für schnelle Entfernung des Materials.

AURIGA Laser ist für die Prüfung von Proben besonders nützlich, in denen die Zielzelle tief unter materiellen Schichten begraben wird. Zu zur Zielzelle Zutritt erhalten, die dieses Material gelöscht werden muss - eine Prozedur, die schwierig, mit herkömmlichen Techniken zu leiten ist. Mechanische Entfernung und die quer-Einteilung von großen materiellen Volumen verursachen häufig die Deformationen und machen die Probe unpassend für weitere Prüfung. Demgegenüber einen fokussierten Ionenträger ist- anzuwenden ineffizient, weil der Prozess viel zu langsam ist.

Der neue AURIGA Laser kombiniert geprüft, dass FIB-SEM Operation mit den neuen materiellen Entfernungsfähigkeiten, die auf der Anwendung einer Nanosekunde basierten, Diode-gepumpter Festkörperlaser pulsierte.

Entfernung mit ein pulsierten Mikrofokus Laserstrahlvorteilen angebote klar: er beschädigt nicht die Probe, und er aktiviert die Abtragsraten, die mit mechanischem Ausbau vergleichbar sind.

Der scannende Laser, der in dieser eindeutigen Lösung verwendet wird, ist eine Nanosekunde pulsierte, Diode-gepumpter Festkörperlaser, der bei 355 nm bereitgestellt von TRUMPF AG (Ditzingen, Deutschland) funktioniert. Er wurde von einer breiten Reichweite der verschiedenen Baumuster von Lasern beschlossen, um die Nachfragen des Vorbereitens von Zellen für SEM-Prüfung optimal zu befriedigen. In Zusammenarbeit mit Carl Zeiss haben Forscher vom Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfung (IZFP - Fraunhofer-Institutfür Zerstörungsfreie Prüfverfahren) in Dresden, den Arbeitsfluß des innovativen Hilfsmittels optimiert - Benutzerfreundlichkeit, schnelle Übergangsprozeduren und schnelle Verlegung der Region von Zinsen auf die Probe unter Prüfung, nahm Mittelpunkt in der Zusammenarbeit.

Um den Arbeitsplatz und die Detektoren des AURIGA FIB-SEM vor dem Rückstand zu schützen, der während des Laser-Entfernungsprozesses erzeugt wird, wird die Anlage mit einer unterschiedlichen Kammer für Laser-Operation ausgerüstet. Nachdem man die Zelle von Zinsen mit dem Laser vorbereitet hat, wird die Probe unter Vakuumbedingungen auf die Hauptkammer für SEM-Prüfung oder DAS FLUNKEREIpolieren übertragen. Das Zurückholen der Zielzelle wird automatisch erzielt. Die Übertragung wird schnell und glatt in Sekundenschnelle - mit dem Ergebnis eines sehr einfachen und kontinuierlichen Arbeitsflusses durchgeführt. Um spezifische Entfernungsmuster zu verwirklichen, wird der Laser mit CAD-Software ausgerüstet, die den Scanner-Kopf steuert. Dieses aktiviert den Benutzer, sogar in hohem Grade komplexe Muster der Beispielzelle vorzubestimmen.

AURIGA Laser ist der erste solches Instrument auf dem Markt. Dr. Martin Kienle, Produktlinie Direktors CrossBeam bei Carl Zeiss, ist überzeugt: „AURIGA Laser ist ein Meilenstein, wenn er die SEM-Prüfung einer beträchtlichen Reichweite der innovativen Materialien und der Zellen vereinfacht und die Beschränkungen von herkömmlichen Vorbereitungsmethoden ausgleicht. Er aktiviert die Benutzer, Neuanmeldungen durchzuführen und komplexe Zellen wie zukünftige Nanotechnologieprozessoren oder flexible Dünnschichtsolarzellen zu prüfen.“ Zukünftige Anwendungen enthalten Halbleiterherstellung, photovoltaics, die Polymerelektronik und verbinden und Technologien, Schmieröl- und Gasprospektion, geomechanische Beratung, pharmazeutische Produkte, Biowissenschaften und Materialien in Kontakt bringend, erforschen Sie im Allgemeinen. Die Anlage ist auch für die Vorbereitung von Mikrosystemen geeignet, die weiches enthalten, oder spröde Phasen, wie, Leichtbauweisematerialien, Glasfasern oder Keramik, Verbundwerkstoffe, Porenfilter, Batterien, Brennstoffzellen oder geologische Proben schäumt.

Last Update: 11. March 2012 10:43

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