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레이저 제거 기능에 칼 Zeiss 발사 FIB-SEM

Published on March 11, 2012 at 10:15 AM

칼 Zeiss는 AURIGA 레이저 의 물자의 단단 제거를 위한 맥박이 뛴 마이크로 초점 레이저의 기능에 AURIGA 대들보 (FIB-SEM) 워크 스테이션의 특정 이점 결합 새로운 향상된 시스템을 발사했습니다.

AURIGA 레이저는 표적 구조가 물자 층의 밑에 깊이 매장되는 견본의 검사를 위해 특히 유용합니다. 이 물자가 - 전통적인 기술로 수행하기 어려운 절차 제거될 필요가 있는 표적 구조에 접근하기 위하여. 큰 물자 양의 기계적인 제거 그리고 십자가 구분은 수시로 견본을 추가 검사를 위해 부적한 시키는 개악을 일으키는 원인이 됩니다. 대조적으로, 집중된 이온살을 적용하는 것은 프로세스가 매우 너무 느리기 때문에, 효과 없습니다.

새로운 AURIGA 레이저는 nanosecond의 응용에 근거를 둔 새로운 물자 제거 기능을 가진 FIB-SEM가 작동, 다이오드 양수한 고체 레이저 맥박이 뛰었다는 것을 입증해 결합합니다.

맥박이 뛴 마이크로 초점 레이저 광선을 가진 제거는 명확한 이점을 제안합니다: 그것은 견본을 손상하지 않으며, 기계적인 제거에 대등한 제거 비율을 가능하게 합니다.

이 유일한 해결책에서 사용된 검사 레이저는 nanosecond 맥박이 뛰었습니다, TRUMPF AG (Ditzingen, 독일)에 의해 제공된 355 nm에 작동하는 다이오드 양수한 고체 레이저입니다. 그것은 레이저의 다른 모형의 넓은 범위에서 최적으로 SEM 검사를 위해 구조물 준비의 요구에 응하기 위하여 선택되었습니다. 칼 Zeiss와 협력하여, 드레스덴에서 비파괴적인 테스트를 위한 Fraunhofer 학회에게서 연구원은 (IZFP - Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren 협력에서)는, 혁신적인 공구의 워크 플로우를 - 낙관했습니다 검사의 밑에 견본에 관심사의 지구의 사용 용이, 단단 이동 절차 및 단단 강제격리수용, 각광을 받았습니다.

레이저 제거 프로세스 도중 생성된 파편에서 AURIGA FIB-SEM 워크 스테이션 및 검출기를 보호하기 위하여는, 시스템은 레이저 작동을 위한 분리되는 약실로 갖춰집니다. 레이저를 가진 관심사의 구조물을 준비한 후에 견본은 SEM 검사 거짓말 닦기를 위한 주요 약실로 진공 조건 하에서 옮겨집니다. 표적 구조를 만회하는 것은 자동적으로 달성됩니다. 이동은 - 아주 간단한 지속적인 워크 플로우의 결과로 - 순식간에 빨리 그리고 매끄럽게 실행됩니다. 특정 제거 패턴을 실현하기 위하여는, 레이저는 스캐너 헤드를 통제하는 CAD 소프트웨어로 갖춰집니다. 이것은 사용자를 견본 구조물의 높게 복잡한 패턴 조차 미리 정의하는 가능하게 합니다.

AURIGA 레이저는 첫번째 시장에 그 같은 계기입니다. 마틴 Kienle 의 CrossBeam 칼 Zeiss에 디렉터 제품라인 박사는, 납득시켜습니다: "AURIGA 레이저는 전통적인 준비 방법의 제한을 극복하는 혁신적인 물자 및 구조물의 광대한 범위의 SEM 검사를 간단하게 하기에 있는 공정표 입니다. 그것은 새로운 응용 프로그램을 실행하고 차세대 나노 과학 처리기 유연한 박막 태양 전지 같이 복잡한 구조물을 검토하는 가능하게 합니다 사용자를." 미래 응용은 반도체 제조, photovoltaics, 결합하는 중합체 전자공학 구성하고 있고 기술, 기름과 가스 탐사, geomechanical 상담, 조제약, 생명 공학 및 물자 접촉해서 일반적으로 연구하십시오. 시스템은 또한 연약한 포함하거나 과민한 단계와 같은 경량 건축자재, 유리 섬유 또는 세라믹스, 복합 재료, 숨구멍 필터, 건전지, 연료 전지 또는 지질 견본이 거품이 이는 microsystems의 준비를 위해 적당합니다.

Last Update: 11. March 2012 10:43

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