Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Microscopy

卡尔蔡司生成 FIB-SEM 以激光烧蚀功能

Published on March 11, 2012 at 10:15 AM

卡尔蔡司生成了御夫星座激光,结合御夫星座横梁 (FIB-SEM) 工作区的特定好处新的先进的系统以搏动的微型重点激光的功能材料的快速烧蚀的。

御夫星座激光为目标结构深深地被埋没在物质层下范例的考试是特别有用的。 对需要取消 - 程序是难执行与常规技术此材料的目标结构能够存取。 机械烧蚀和跨区分大物质数量经常导致变形,使这个范例不合适为进一步考试。 相反,因为这个进程是太慢的,应用集中的离子束是效率低的。

新的御夫星座激光结合证明与在一纳秒的应用基础上的新的物质烧蚀功能的 FIB-SEM 运算搏动了,二极管抽的固体激光。

与一个搏动的微型重点激光聘用清楚地好处的烧蚀: 它不损坏这个范例,并且它启用烧蚀费率可比较与机械删除。

用于此唯一解决方法的浏览的激光是一纳秒搏动了,运行在 355 毫微米的二极管抽的固体激光提供由 AG (Ditzingen,德国) 特伦普夫。 它从激光的各种各样不同的类型被选择最佳地适应结构需要为 SEM 考试做准备。 在与卡尔蔡司合作下,从 Fraunhofer 学院的研究员非破坏性的测试 (IZFP - Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren) 在德累斯顿,优选了创新工具的工作流 - 易用、快速调用程序和区域的快速拆迁在范例的利益在考试下,在合作成为了焦点。

为了保护御夫星座 FIB-SEM 工作区和探测器免受在激光烧蚀进程期间被生成的残骸,这个系统用激光运算的一个单独房间装备。 在准备结构以后与激光的利益这个范例在真空情况下调用到 SEM 考试或小谎擦亮的主要房间。 检索目标结构自动地达到。 调用迅速和顺利地被执行数秒内 - 造成非常简单和持续工作流。 要认识到特定烧蚀模式,激光用控制扫描程序题头的 CAD 软件装备。 这使这个用户预定义高度范例结构的甚而复杂模式。

御夫星座激光是第一在这个市场上的这样仪器。 马丁 Kienle, CrossBeam 主任在卡尔蔡司的产品线博士,被说服: “御夫星座激光是在简化各种各样的创新材料和结构的 SEM 考试的一个重要事件,解决常规准备方法的限制。 它使用户执行新建应用程序和检查象下一代纳米技术处理器或灵活的薄膜太阳能电池的复杂结构”。 将来的应用包括半导体制造, photovoltaics,聚合物电子,连接,并且与技术联系,油和煤气勘探, geomechanical 咨询,配药、生命科学和材料一般来说请研究。 这个系统也适用于包含虚拟或易碎的阶段,例如起泡沫,轻量级建筑材料、玻璃纤维或者陶瓷、合成材料、毛孔补白、电池、燃料电池或者地质范例微系统的准备。

Last Update: 11. March 2012 10:42

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit