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Posted in | Microscopy

卡爾蔡司生成 FIB-SEM 以激光燒蝕功能

Published on March 11, 2012 at 10:15 AM

卡爾蔡司生成了御夫星座激光,結合御夫星座橫梁 (FIB-SEM) 工作區的特定好處新的先進的系統以搏動的微型重點激光的功能材料的快速燒蝕的。

御夫星座激光為目標結構深深地被埋沒在物質層下範例的考試是特別有用的。 對需要取消 - 程序是難執行與常規技術此材料的目標結構能够存取。 機械燒蝕和跨區分大物質數量經常導致變形,使這個範例不合適為進一步考試。 相反,因為這個進程是太慢的,應用集中的離子束是效率低的。

新的御夫星座激光結合證明與在一納秒的應用基礎上的新的物質燒蝕功能的 FIB-SEM 運算搏動了,二極管抽的固體激光。

與一個搏動的微型重點激光聘用清楚地好處的燒蝕: 它不損壞這個範例,并且它啟用燒蝕費率可比較與機械刪除。

用於此唯一解決方法的瀏覽的激光是一納秒搏動了,運行在 355 毫微米的二極管抽的固體激光提供由 AG (Ditzingen,德國) 特倫普夫。 它從激光的各種各樣不同的類型被選擇最佳地適應結構需要為 SEM 考試做準備。 在與卡爾蔡司合作下,從 Fraunhofer 學院的研究員非破壞性的測試 (IZFP - Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren) 在德累斯頓,優選了創新工具的工作流 - 易用、快速調用程序和區域的快速拆遷在範例的利益在考試下,在合作成為了焦點。

為了保護御夫星座 FIB-SEM 工作區和探測器免受在激光燒蝕進程期間被生成的殘骸,這個系統用激光運算的一個單獨房間裝備。 在準備結構以後與激光的利益這個範例在真空情況下調用到 SEM 考試或小謊擦亮的主要房間。 檢索目標結構自動地達到。 調用迅速和順利地被執行數秒內 - 造成非常簡單和持續工作流。 要認識到特定燒蝕模式,激光用控制掃描程序題頭的 CAD 軟件裝備。 這使這個用戶預定義高度範例結構的甚而複雜模式。

御夫星座激光是第一在這個市場上的這樣儀器。 馬丁 Kienle, CrossBeam 主任在卡爾蔡司的產品線博士,被說服: 「御夫星座激光是在簡化各種各樣的創新材料和結構的 SEM 考試的一個重要事件,解決常規準備方法的限制。 它使用戶執行新建應用程序和檢查像下一代納米技術處理器或靈活的薄膜太陽能電池的複雜結構」。 將來的應用包括半導體製造, photovoltaics,聚合物電子,連接,并且與技術聯繫,油和煤氣勘探, geomechanical 咨詢,配藥、生命科學和材料一般來說请研究。 這個系統也適用於包含虛擬或易碎的階段,例如起泡沫,輕量級建築材料、玻璃纖維或者陶瓷、合成材料、毛孔補白、電池、燃料電池或者地質範例微系統的準備。

Last Update: 11. March 2012 10:42

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