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Produkteinführungs-Handbuch Suss Microtec Widerstehen Mantel und Entwickeln Plattform für Substratflächen

Published on March 19, 2012 at 6:43 PM

SUSS MicroTec, ein führender Lieferant von Geräten- und Prozesslösungen für den Halbleiter und die in Verbindung stehenden Märkte, startete das RCD8, Widerstehen ein neues Handbuch Mantel und Entwickeln Plattform für Substratflächen.

Die neue Plattform bietet eine hohe Anwendungsvielzahl an, die mit niedrigen Investitionskosten verbunden werden sowie eine einfache Übertragung von Prozessen von der manuellen Plattform RCD8 auf ein Produktionshilfsmittel SUSS MicroTec.

Das RCD8 ist das einzige Hilfsmittel im Markt, der die Option Bekehrtem von einer Drehbeschleunigungsauftragmaschine mit der patentierten GYRSET geschlossenen Abdeckungsbeschichtungstechnologie einem Sprayentwickler innerhalb einigen Protokolls anbietet. Dieser Mantel und entwickeln Plattform kann der Zoll sein, der überall von z.B. einer grundlegenden manuellen Drehbeschleunigungsauftragmaschine zu einem halbautomatisierten GYRSET erhöhten Auftragmaschinen- und Pfützen- u. Sprayentwicklerhilfsmittel hergestellt wird und dienen für tägliche R&D-Arbeit bis zur Produktion des kleinen Maßstabs.

In der Vergangenheit wurden mehrfache engagierte Hilfsmittel unserer Delta-Serien für spezifische Anwendungen in MEMS, im fortgeschrittenen Verpacken, in LED oder im R&D-Markt verwendet. Die verschiedenen Baumuster von Hilfsmitteln werden jetzt in der Plattform RCD8 zusammengebracht, die alle notwendige Beschichtung und sich entwickelnden Prozesse für diese Anwendungen umfaßt.

Wie eine Zusatzfunktion das patentierte GYRSET, das geschlossene Abdeckungsbeschichtungstechnologie rotiert, in den Beschichtungsblock der Drehbeschleunigung integriert sein kann RCD8. Für verschiedene Photoresists und Anwendungen aktiviert die GYRSET-Technologie ein breiteres Prozessfenster und verringert Materialverbrauch beträchtlich. Außerdem erlaubt diese Technologie sogar quadratische Substratflächen und vollständig die zu den Ecken beschichtet zu werden Stücke, mit einem homogenen widerstehen Stärke.

„Wann Immer Prozessänderungen im Laufe der Zeit gefordert werden, kann dieses vielseitige Hilfsmittel mit verschiedenen Optionen nachträglich verbessert werden, um den tatsächlichen Bedarf unserer Abnehmer tadellos zu erfüllen“, sagt Frank P. Averdung, Präsident und Vorstandsvorsitzende von SUSS MicroTec. „Mit seiner großen Vielfalt von erhältlichen Futtern und von Konfigurationen, buchstäblich alle Art von den Substratflächenmaterialien und Formen kann überzogen und sich entwickelt auf dem RCD8 sein.“

Last Update: 19. March 2012 19:29

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