応用材料は表示製造業者のための PECVD のフィルムの技術のベールを取ります

Published on March 21, 2012 at 5:27 AM

カメロンシェ著

応用材料は次世代のテレビのための高解像の、高性能表示および (PECVD)タブレットのコンピュータを製造するための新しい血しょうによって高められる化学気相堆積のフィルムの技術をもたらしました。

新しい AKT-PECVD のフィルムはの利用が小さい生成する金属の酸化物ベースのトランジスター、早く切換えピクセル高解像スクリーンを作り出すようにします。 高度の絶縁のフィルムは金属酸化物のトランジスターの安定性を高め、水素の不純物を減らすトランジスターのための誘電体層インターフェイスの提供によって改善されたスクリーンパフォーマンスを提供します。

応用材料」 AKT-PECVD システムは均一に 9 まで M. のサイズを持っているガラスシートの高精度のこれらの優秀品質のケイ素の酸化物フィルムを沈殿できます。2 この機能は低い生産費および高い製造業生産高を得るキーです。

小説 PECVD のフィルムのほかに、応用材料は現在金属酸化物の生産のための IGZO の沈殿のような洗練された PVD の解決を開発しています。 最も新しい回転式陰極のアレイ技術を利用して、会社はある PVD の解決と比較されたとき低欠陥の沈殿、少し材料との同質な実行中の層およびより高いスループットを示します。

トム Edman、応用材料の AKT の表示ビジネスグループのためのグループの副大統領および総務部長に従って、金属酸化物のトランジスター機能の表示製造業者によってなされる投資は常に増加し、会社の進められた PECVD のフィルムは複雑な誘電性のフィルムの安定性および均等性問題に取り組むことによってこの主要な技術の配置の障壁を壊します。 会社は金属酸化物のトランジスターの誘電性のフィルムの沈殿のための AKT-PECVD システムの機能性の拡張によって市場にこの技術を、持って来るための速く、低価格のアプローチを提供しました。

ソース: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 21. March 2012 06:50

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