应用的材料揭幕 PECVD 显示制造商的影片技术

Published on March 21, 2012 at 5:27 AM

卡梅伦柴

应用的材料引入制造的高分辨率,高性能显示 (PECVD)下一代电视的和片剂计算机新的等离子改进的化学气相沉积影片技术。

新的 AKT-PECVD 影片允许金属基于氧化物的晶体管,利用率生成微小,迅速切换象素生产高分辨率屏幕。 这部先进的绝缘的影片提高金属氧化物晶体管的稳定性并且通过提供减少氢杂质晶体管的一个电介质层界面提供被改进的屏幕性能。

应用的材料’ AKT-PECVD 系统可能统一存款与高精确度的这些优越质量氧化硅影片在有玻璃的页范围的 9 M。2 此功能是得到低生产成本和高制造业生产的这个关键字。

除其小说 PECVD 影片以外,应用的材料当前开发复杂的 PVD 解决方法例如金属氧化物生产的 IGZO 证言。 使用其最新的转台式负极列阵技术,公司展示低缺陷的证言,与一点材料的同类的有效的层和更高的处理量,当与现有的 PVD 解决方法比较。

根据汤姆 Edman,组副总统和总经理 AKT 显示业务组的在应用的材料,在金属氧化物晶体管功能的显示制造商做的投资是持续增长的,并且公司的提前的 PECVD 影片通过解决复杂电介质影片的稳定性和均一问题冲破在部署此关键技术的障碍。 这家公司提供带来的此技术一个快速和低价的途径给这个市场,通过扩大其电介质影片证言的 AKT-PECVD 系统的功能金属氧化物晶体管的。

来源: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 21. March 2012 06:48

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