應用的材料揭幕 PECVD 顯示製造商的影片技術

Published on March 21, 2012 at 5:27 AM

卡梅倫柴

應用的材料引入製造的高分辨率,高性能顯示 (PECVD)下一代電視的和片劑計算機新的等離子改進的化學氣相沉積影片技術。

新的 AKT-PECVD 影片允許金屬基於氧化物的晶體管,利用率生成微小,迅速切換像素生產高分辨率屏幕。 這部先進的绝緣的影片提高金屬氧化物晶體管的穩定性并且通過提供減少氫雜質晶體管的一個電介質層界面提供被改進的屏幕性能。

應用的材料』 AKT-PECVD 系統可能統一存款與高精確度的這些優越質量氧化硅影片在有玻璃的頁範圍的 9 M。2 此功能是得到低生產成本和高製造業生產的這個關鍵字。

除其小說 PECVD 影片以外,應用的材料當前開發複雜的 PVD 解決方法例如金屬氧化物生產的 IGZO 證言。 使用其最新的轉臺式負極列陣技術,公司展示低缺陷的證言,與一點材料的同類的有效的層和更高的處理量,當與現有的 PVD 解決方法比較。

根據湯姆 Edman,組副總統和總經理 AKT 顯示業務組的在應用的材料,在金屬氧化物晶體管功能的顯示製造商做的投資是持續增長的,并且公司的提前的 PECVD 影片通過解決複雜電介質影片的穩定性和均一問題衝破在部署此關鍵技術的障礙。 這家公司提供帶來的此技術一個快速和低價的途徑給這個市場,通過擴大其電介質影片證言的 AKT-PECVD 系統的功能金屬氧化物晶體管的。

來源: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 21. March 2012 06:49

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