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El Acceso Abierto NanoLab Agrega las Herramientas de RIE y de PECVD de los Instrumentos de Oxford

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

El recurso del abierto-acceso para la investigación nanotecnologÃa-relacionada avanzada, NanoLab@TU /e en los Países Bajos, continúa desplegar sus capacidades, con la adición reciente de dos nuevos sistemas del plasma de los Instrumentos de Oxford.

NanoLab@TU /e, Cortesía de Imagen de TU/e

“Las herramientas de PlasmaPro System100 RIE y de PlasmaPro System100 ICP-PECVD son los sistemas multiusos que complementan el conjunto de herramienta ya existente dedicado al tramitación de los dispositivos fotónicos de III-V, muchos cuyo son las herramientas de los Instrumentos de Oxford”, dijeron a Profesor Erwin Kessels, Plasma y el Grupo del Tratamiento de Materiales, Departamento de la Física Aplicada, TU/e. “Fortalecen nuestras capacidades para nuestra propia investigación así como que para nuestros socios dentro de la iniciativa de NanoLabNL. También complementan la ALD-capacidad extensa de nuestro sitio limpio, ésa contiene ya los dos FlexAL y un sistemas Del ópalo del plasma y térmicos de ALD de los Instrumentos de Oxford.”

Profesor Kessels continúa, “Con la capacidad ejecutar la F y las químicas del Cl, la herramienta de PlasmaPro System100 RIE serán utilizadas para tramitación “estándar el” de los materiales silicio-que contienen (SiO2, Si3N4, Si) así como para grabar el ácido más materiales “exóticos” tales como NbN.”

La aguafuerte de las películas finas del nitruro del niobio se utiliza para fabricar detectores de fotón único superconductores nanostructured. Para esta aplicación TU/e necesitó definir una constricción del ultranarrow (50 nanómetro) en una película nanómetro-gruesa de 5 NbN, por litografía y la aguafuerte del electrón-haz con química F-Basada.

Cuando el dispositivo resultante se enfría a 4 K y se orienta cerca de la corriente crítica, un de fotón único absorbente en la región de la constricción (y solamente allí) da lugar a una transición superconductor-resistente, produciendo un pulso de voltaje. Esto da lugar a un detector de fotón único con una resolución espacial de pocos diez de nanómetro, que se podrían utilizar para la proyección de imagen del campo cercano con sensibilidad sin precedente.

Marque Vosloo, las Ventas y el Director de la Atención al Cliente en la Tecnología del Plasma de los Instrumentos de Oxford reconoce la importancia de esta venta adicional del sistema, “Nuestro amplio, flexible y el sistema seguro y el ofrecimiento de proceso tiene llevar a varios institutos de investigación de la nanotecnología global de establecimiento como centros de los Instrumentos de Oxford de la excelencia. Varios lazos a largo plazo se han convertido entre los centros de investigación y nuestra Compañía, y TU/e es uno de los reconocimientos donde nos encantan para colaborar. Nuestros clientes confían en nuestra experiencia para proporcionar la tecnología y el servicio más avanzados y más innovadores, para lograr sus metas científicas.”

Last Update: 28. March 2012 20:24

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