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L'Accès Ouvert NanoLab Ajoutent des Outils de RIE et de PECVD des Instruments d'Oxford

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

L'installation d'ouvert-accès pour la recherche liée à la nanotechnologie de pointe, NanoLab@TU /e aux Pays-Bas, continue à augmenter ses capacités, avec l'ajout récent de deux systèmes neufs de plasma d'Instruments d'Oxford.

NanoLab@TU /e, Accueil d'Image de TU/e

« Les outils de PlasmaPro System100 RIE et de PlasmaPro System100 ICP-PECVD sont des systèmes universels qui complètent la trousse d'outils déjà existante consacrée au traitement des dispositifs photoniques d'III-V, on dont sont les outils d'Instruments d'Oxford », ont dit Prof. Erwin Kessels, Plasma et le Groupe De Process De Matériaux, Service de la Physique Appliquée, TU/e. « Ils renforcent nos capacités pour notre propre recherche ainsi que qui pour nos associés dans l'initiative de NanoLabNL. Ils complètent également la vaste ALD-capacité de notre chambre propre, cela contient déjà les deux FlexAL et un systèmes Opales de plasma et thermiques d'ALD des Instruments d'Oxford. »

Prof. Kessels poursuit, « La capacité pour faire fonctionner le F et des chimies de Cl, l'outil de PlasmaPro System100 RIE seront utilisées pour traitement « normal le » des matériaux silicium-contenants (SiO2, Si3N4, SI) ainsi que pour corroder plus matériaux « exotiques de » tels que NbN. »

Gravure des films minces de nitrure de niobium est employée pour fabriquer les détecteurs supraconducteurs nanostructured d'unique-photon. Pour cette application TU/e a dû définir une constriction de l'ultranarrow (50 nanomètre) dans un film nanomètre-épais de 5 NbN, par la lithographie et gravure d'électron-poutre avec la chimie F-Basée.

Quand le dispositif donnant droit est refroidi à 4 K et polarisé près du courant critique, un unique-photon absorbé dans la région de constriction (et seulement là) provoque un passage supraconducteur-résistif, produisant une impulsion de tension. Ceci a comme conséquence un détecteur d'unique-photon avec une résolution spatiale de peu de dizaines de nanomètre, qui pourraient être utilisées pour la représentation de proche-zone avec la sensibilité sans précédent.

Marquez Vosloo, les Ventes et le Directeur de Support Technique à la Technologie de Plasma d'Instruments d'Oxford identifie l'importance de cette vente supplémentaire de système, « Notre grand, flexible et le système fiable et l'offre de processus a pour mener à un certain nombre d'instituts de recherches de nanotechnologie devenant mondial déterminés en tant que centres d'excellence d'Instruments d'Oxford. Plusieurs relations à long terme se sont développées entre les centres de recherches et notre Compagnie, et TU/e est l'un des établissements où nous sommes enchantés pour collaborer. Nos abonnées comptent sur notre expérience pour fournir la technologie et le service les plus avancés et les plus novateurs, pour atteindre leurs objectifs scientifiques. »

Last Update: 28. March 2012 20:22

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