Access NanoLab Aperto Aggiunge gli Strumenti di PECVD e di RIE dagli Strumenti di Oxford

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

La funzione di aperto Access per la ricerca in relazione con la nanotecnologia avanzata, NanoLab@TU /e nei Paesi Bassi, continua a ampliare le sue capacità, con l'aggiunta recente di due nuovi sistemi del plasma degli Strumenti di Oxford.

NanoLab@TU /e, Cortesia di Immagine di TU/e

“Gli strumenti di PlasmaPro System100 RIE e di PlasmaPro System100 ICP-PECVD sono sistemi multiuso che complementano il set di strumenti già attuale dedicato al trattamento delle unità fotoniche di III-V, molte di cui sono gli strumenti degli Strumenti di Oxford„, hanno detto il Gruppo di Trattamento di Prof. Erwin Kessels, del Plasma & dei Materiali, Servizio di Fisica Applicata, TU/e. “Rinforzano le nostre capacità per la nostra propria ricerca come pure di cui per i nostri partner all'interno dell'iniziativa di NanoLabNL. Egualmente complementano l'estesa ALD-capacità della nostra stanza pulita, quello già contiene i due FlexAL ed un sistema termico Opalino e del plasma di ALD dagli Strumenti di Oxford.„

Prof. Kessels continua, “Con la capacità ad eseguire sia la F che le chimiche del Cl, lo strumento di PlasmaPro System100 RIE saranno usate per elaborare “standard„ dei materiali silicio-contenenti (SiO2, Si3N4, Si) come pure per incidere dei più materiali “instabili„ quale NbN.„

Incisione delle pellicole sottili del nitruro del niobio è usata per da costruzione i rivelatori superconduttori nanostructured del unico fotone. Per questa applicazione TU/e stata necessaria per definire una riduzione del ultranarrow (50 nanometro) in una pellicola nanometro-spessa di 5 NbN, da litografia ed incisione del fascio di elettroni con alla la chimica Basata a f.

Quando l'unità risultante è raffreddata a 4 K ed è influenzata vicino alla corrente critica, un unico fotone assorbente nella regione di riduzione (e soltanto là) provoca una transizione superconduttore-resistente, producendo un impulso di tensione. Ciò provoca un rivelatore del unico fotone con una risoluzione spaziale di pochi dieci di nanometro, che potrebbero essere usati per la rappresentazione del quasi-campo con la sensibilità senza precedenti.

Tracci Vosloo, le Vendite e Direttore del Servizio Clienti alla Tecnologia del Plasma degli Strumenti di Oxford riconosce l'importanza di questa vendita supplementare del sistema, “il Nostro vasto, sistema flessibile ed affidabile ed elaborano l'offerta ha piombo ad una serie di istituti di ricerca di nanotecnologia globalmente che si consolidano come centri degli Strumenti di Oxford di eccellenza. Parecchie relazioni a lungo termine si sono sviluppate fra i centri di ricerca e la nostra Società e TU/e è una delle imprese in cui siamo deliziati per collaborare. I Nostri clienti contano sulla nostra esperienza per fornire la tecnologia ed il servizio più avanzati e più innovatori, per raggiungere i loro scopi scientifici.„

Last Update: 28. March 2012 20:23

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit