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開架 NanoLab はオックスフォードの器械から RIE および PECVD のツールを追加します

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

最新式のナノテクノロジー関連の研究、ネザーランドの NanoLab@TU /e のためのオープンアクセス機能は、 2 つの新しいオックスフォードの器械血しょうシステムの最近の付加との機能を、拡大し続けます。

NanoLab@TU /e の TU/e の画像礼儀

「PlasmaPro System100 RIE および PlasmaPro System100 ICP-PECVD のツール多数をオックスフォードの器械のツール」がある、また NanoLabNL のイニシアチブ内の私達のパートナーのために III-V の光通信装置の処理に専用されている既に既存の工具セットを補足する多目的システム、言いましたアーウィン Kessels の血しょう教授をです及び材料加工のグループ、応用物理、 TU/e. の部門 「私達の自身の研究のための私達の機能を増強します。 それらはまた私達のクリーンルームの広範な ALD 機能を補足します、それは既に含んでいますオックスフォードの器械からの 2 FlexAL そして 1 つのオパール血しょうおよび熱 ALD システムを」。

Kessels 教授は機能と、 「F- を実行し続け、 CL 化学は 「標準」ケイ素含んでいる材料 (SiO2、 Si3N4、 Si) の処理のために、また NbN のようなより多くの 「エキゾチックな」材料をエッチングするために、 PlasmaPro System100 RIE のツール使用されます」。

ニオブの窒化物の薄膜のエッチングが nanostructured superconducting 単一光子の探知器を製造するのに使用されています。 このアプリケーションのために TU/e は F ベースの化学の電子ビーム石版印刷そしてエッチングによって 5 nm 厚い NbN のフィルムの ultranarrow (50 nm) の圧縮を、定義する必要がありました。

生じる装置が 4 K に冷却され、重大な流れの近くで偏られるとき、圧縮領域で吸収される単一光子は (およびそこただ) superconducting 抵抗転移をもたらしま、電圧パルスを作り出します。 これは前例のない感度のほぼフィールドイメージ投射に使用できる nm の少数の 10 の空間分解能の単一光子の探知器で起因します。

Vosloo をマークして下さい、オックスフォードの器械血しょう技術の販売そしてカスタマ・サポートディレクターはこの追加システム販売の重要性を、 「私達の広い、適用範囲が広い認識し、信頼できるシステムおよびプロセス提供は全体的にオックスフォードの器械の優秀な研究機関として一人立ちしている何人かのナノテクノロジーの研究所の原因となることを持っています。 複数の長期関係は研究所と私達の会社の間で成長し、 TU/e は私達が協力するために喜ぶ確立の 1 つです。 私達の顧客は私達の経験に頼ります彼らの科学的な目的を達成するために最先端および革新的な技術およびサービスを提供するために」。

Last Update: 28. March 2012 20:23

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