Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Открытый Доступ NanoLab Добавляет Инструменты RIE и PECVD от Аппаратур Оксфорда

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

Средство открытого доступа для современного нанотехнология-родственного исследования, NanoLab@TU /e в Нидерланды, продолжается расширить свои возможности, с недавним добавлением 2 новых систем плазмы Аппаратур Оксфорда.

NanoLab@TU /e, Учтивость Изображения TU/e

«Инструменты PlasmaPro System100 RIE и PlasmaPro System100 ICP-PECVD универсальные системы которые комплектуют уже существующий комплект инструмента предназначенный к обрабатывать приборов III-V фотонных, много чего инструменты Аппаратур Оксфорда», сказали Prof Erwin Kessels, Плазму & Группа Материалов Обрабатывая, Dept. Прикладной Физики, TU/e. «Они усиливают наши возможности для нашего собственного исследования так же, как которые для наших соучастников в пределах инициативы NanoLabNL. Они также комплектуют обширную ALD-возможность нашей чистой комнаты, то уже содержит 2 FlexAL и одну Опаловой систему плазмы и термальных ALD от Аппаратур Оксфорда.»

Prof Kessels продолжается, «С возможностью работать и F- и химии Cl, инструмент PlasmaPro System100 RIE будут использованы для «стандартный» обрабатывать кремни-содержа материалов (SiO2, Si3N4, Si) так же, как для вытравлять больше «экзотических» материалов как NbN.»

Вытравливание фильмов нитрида ниобия тонких использовано для того чтобы изготовить nanostructured superconducting детекторы одиночн-фотона. Для этого применения Необходимо было нужно определить сужение ultranarrow (50 nm) в фильме 5 nm-толщином NbN, литографированием и вытравливанием луча электронов с F-Основанной химией.

Когда приводя к прибор охлажен вниз до 4 K и пристрастное близко к критическому току, одиночн-фотон поглощенный в зоне сужения (и только там) дает подъем к superconducting-сопротивляющему переходу, производящ ИМП ульс напряжения тока. Это приводит к в детекторе одиночн-фотона с пространственным разрешением немногих 10 nm, которые смогли быть использованы для воображения близко-поля с беспрецедентный чувствительностью.

Маркируйте Vosloo, Сбывания и Директор Работы с Клиентом на Технологии Плазмы Аппаратур Оксфорда узнают важность этого дополнительного сбывания системы, «Наше обширное, гибко и надежная система и отростчатый предлагать имеют вести к нескольким научно-исследовательских институтов нанотехнологии глобально установлены как центры Аппаратур Оксфорда высокого профессионализма. Несколько долгосрочных отношений превращались между исследовательскими центрами и нашей Компанией, и TU/e одна из установок где мы услажены для того чтобы сотрудничать. Наши клиенты полагаются на нашем опыте для того чтобы обеспечить самые предварительные и самые новаторские технологию и обслуживание, для того чтобы достигнуть их научных целей.»

Last Update: 28. March 2012 20:23

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit