Öppet Ta Fram NanoLab Tillfogar RIE, och PECVD Bearbetar från Oxford Instrumenterar

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

Denta fram lättheten för statlig-av--konst nanotechnology-släkt forskning, NanoLab@TU /e i Nederländerna, fortsätter för att utvidga dess kapaciteter, med det nya tillägget av två som nya Oxford Instrumenterar plasmasystem.

NanoLab@TU /e, Avbildar Artighet av TU/e

”Bearbetar PlasmaProen System100 RIE och PlasmaPro System100 ICP-PECVD är system som kan användas till mycket som kompletterar det redan existerande bearbetar fastställdt hängivet till bearbeta av photonic apparater för III-V, många av som är Oxford Instrumenterar bearbetar”, sade Prof Erwin Kessels, Plasma, & Material som Bearbetar Gruppen, Dept. av Applied Fysik, TU/e. ”Dem, förstärker våra kapaciteter för vår egna forskning, såväl som som för våra partners inom den NanoLabNL insatsen. De kompletterar också den omfattande ALD-kapaciteten av vårt rena rum, innehåller det redan den två FlexALen, och en system för plasma för OpAL termiska ALD-och från Oxford Instrumenterar.”,

Prof Kessels fortsätter, ”Med kapaciteten för att köra både F, och Clkemiar, PlasmaProen System100 RIE bearbetar ska används för ”standart” bearbeta av silikon-innehållande material (SiO2, Si3N4, Si) såväl som för att etsa mer ”exotiska” material liksom NbN.”,

Den tunna etsningen av niobiumnitriden filmar är van vid fabricerar nanostructured superconducting singel-foton avkännare. För denna applikation TU/e som behövs för att definiera en constriction för ultranarrow (50 nm) i 5 nm-tjocka NbN filma, elektron-stråla by lithography och etsning med F-Baserad kemi.

Besegra till 4 K, När den resulterande apparaten kylas, och tendentiöst nästan ger den kritiska strömmen, enfoton som absorberas i constrictionregionen (och endast där) löneförhöjning till ensom gör motstånd övergång som producerar en spänning, pulserar. Detta resulterar i enfoton avkännare med en rumslig upplösning av få tio av nm, som kunde användas för near-sätter in att avbilda med aldrig tidigare skådad känslighet.

Markera Vosloo, Instrumenterar Salar och Direktören för KundService på Oxford PlasmaTeknologi känner igen betydelsen av denna extra systemrea, ”Vårt brett, böjligt, och det pålitliga systemet och processaa erbjuda har bly- till ett nummer av passande etablerat för nanotechnologyforskningsinstitut globalt, som Oxford Instrumenterar centrerar av utmärkthet. Flera långsiktiga förhållanden har framkallat mellan forskning centrerar och vårt Företag, och TU/e är en av etableringarna var vi glädjas för att samarbeta. Våra kunder rely på vårt erfar för att ge den mest avancerade och mest innovativa teknologin och för att serva, att uppnå deras vetenskapliga mål.”,

Last Update: 28. March 2012 20:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit