开路 NanoLab 从牛津仪器添加 RIE 和 PECVD 工具

Published on March 27, 2012 at 9:11 AM

科技目前进步水平纳米技术关连的研究的, NanoLab@TU /e 开放存取设备在荷兰,继续扩展其功能,与二个新的牛津仪器等离子系统的最近添加。

NanoLab@TU /e, TU/e 的镜象

“PlasmaPro System100 RIE 和 PlasmaPro System100 ICP-PECVD 工具是补充已经现有的工具箱投入处理 III-V 光子的设备,许多是牛津仪器工具”的多用途系统,说埃尔温 Kessels,等离子教授 & 材料加工组,应用物理学, TU/e. 部门 “他们加强我们的以及为我们的在 NanoLabNL 主动性内的合作伙伴的我们自己的研究的功能。 他们也补充我们的洁净室的广泛的 ALD 功能,那已经包含二 FlexAL 和一个蛋白石等离子和热量 ALD 系统从牛津仪器”。

Kessels 教授继续, “通过这个功能运行 F-,并且分类化学, PlasmaPro System100 RIE 工具将使用为 “标准”处理硅包含的材料 (SiO2、 Si3N4, Si) 以及为铭刻更多 “异乎寻常的”材料例如 NbN”。

铌氮化物薄膜蚀刻用于制造 nanostructured 超导的单一光子探测器。 对此应用 TU/e 需要由电子射线石版印刷和蚀刻定义在 5 nm 厚实的 NbN 影片的 ultranarrow (50 毫微米) 收缩,与基于 F 的化学。

当发生的设备冷静冷却到 4 K 并且被偏心接近重要当前时,在收缩区域吸收的单一光子 (和只那里) 提升一个超导抗拒转移,导致电压脉冲。 这导致与少量十倍的一个空间分辨率的一台单一光子探测器 nm,可能为与史无前例的区分的近域想象使用。

标记 Vosloo,销售额和客户支持主任牛津仪器等离子技术的认可此另外的系统销售额的重要性, “我们清楚,灵活,并且可靠的系统和处理提供有导致全球性地变得很多个纳米技术的研究所有经验作为牛津仪器成就卓越中心。 几个长期关系开发了在研究中心和我们的公司之间,并且 TU/e 是我们高兴合作的其中一设置。 我们的客户取决于我们的经验提供这项最先进和创新技术和服务,达到他们的科学目标”。

Last Update: 28. March 2012 20:22

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