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Posted in | Nanolithography

SEMATECH, Partner di Inpria Per Affrontare le Sfide di Tasto in Litografia di EUV

Published on April 25, 2012 at 2:16 AM

Da Cameron Chai

Il consorzio Globale dei produttori di chip, SEMATECH ha riferito che Inpria, uno specialista in materiali chimici per il deposito superiore della pellicola sottile dell'ossido della prestazione, ha stato bene ad un membro di SEMATECH Resiste ai Materiali ed al Centro di Sviluppo (RMDC) all'Università all'Istituto Universitario di Albany di Scienza di Nanoscale e di Assistenza Tecnica (CNSE).

Come componente del programma della litografia di SEMATECH, SEMATECH e Inpria partner sul tasto resistono alle sfide in litografia ultravioletta (EUV) estrema. Inpria inorganico resiste a dimostra la resistenza molto alta incissione all'acquaforte ed ha risolto 11 funzionalità della riga/spazio di nanometro. In questa associazione, SEMATECH e Inpria useranno questi ad alta definizione resiste a per la qualificazione delle 0,5 ottica della rappresentazione del NA EUV alla memoria degli aggiornamenti principali in corso avanzare resistono alla ricerca per il mezzo passo di £ 11 nanometro in RMDC. Inpria egualmente migliorerà il suo resiste alla fotosensibilità dei materiali per compiere le esigenze di produttività delle applicazioni di produzione imminenti.

L'associazione fra SEMATECH e Inpria sarà sviluppata sui materiali a semiconduttore di Inpria la direzione reputata e sui trattamenti e su mercato di modello avanzati di SEMATECH, esperienza a semiconduttore e la rete ampia di competenza e del hardware della ricerca. RMDC offrirà l'accesso ai numerosi strumenti della metrologia e due agli strumenti dell'micro-esposizione installati a CNSE ed all'Università di California, Berkeley.

Secondo Andrew Grenville, il Direttore Generale a Inpria, la società può fare leva questa collaborazione per accelerare lo sviluppo dei materiali della litografia di EUV. Questa associazione è un altro testamento all'impegno della società per affrontare le emissioni importanti della litografia incontrate dall'industria a semiconduttore.

Il Direttore della Litografia, Stefan Wurm di SEMATECH ha specificato che questa collaborazione rinforzerà la capacità di RMDC di affrontare il tasto resiste alle sfide in materiali avanzati e rapido trova le soluzioni adatte per queste sfide comuni della tecnologia.

Sorgente: http://www.sematech.org

Last Update: 25. April 2012 03:30

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