Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanolithography

SEMATECH, Соучастник Inpria для того чтобы Решать Возможности Ключа в Литографировании EUV

Published on April 25, 2012 at 2:16 AM

Камероном Chai

Глобальный консорциум изготовлений обломока, SEMATECH сообщил что Inpria, специалист в химических материалах для главного низложения тонкого фильма окиси представления, шло членом SEMATECH Сопротивляет Материалам и Разрабатывающей Организации (RMDC) на Университете на Коллеже Albany Науки Nanoscale и Инджиниринга (CNSE).

Как часть программы литографированием SEMATECH, SEMATECH и Inpria будут партнером на ключе сопротивляют возможностям в весьма ультрафиолетов (EUV) литографировании. Inpria неорганическое сопротивляет демонстрирует очень высокое сопротивление etch и разрешало 11 характеристику линии/космоса nm. В этом партнерстве, SEMATECH и Inpria будут использовать эти высок-разрешение сопротивляют для квалификации 0,5 оптик воображения NA EUV на сердечнике продолжающийся главных подъемов для того чтобы выдвинуться сопротивляют исследованию для половин-тангажа £ 11 nm в RMDC. Inpria также улучшит свое сопротивляет светочувствительности материалов для того чтобы выполнить потребности урожайности для предстоящих промышленных приложений.

Партнерство между SEMATECH и Inpria будет построено на материалах полупроводника Inpria водительство выдвинутых делая по образцу и процессах и рынке SEMATECH имеющий хорошую репутацию, опыт полупроводника, и далеко идущая сеть экспертизы и оборудования исследования. RMDC предложит доступ к многочисленним инструментам метрологии и 2 инструментам микро--выдержки установленным на CNSE и Университет Штата Калифорнии, Беркли.

Согласно Андрю Grenville, Генеральный Директор на Inpria, компания может leverage это сотрудничество для ускорения развития материалов литографированием EUV. Это партнерство другой завет к принятию окончательного решения компании для того чтобы адресовать главные вопросы литографированием столкнутые индустрией полупроводника.

Директор Литографирования, Stefan Wurm SEMATECH заявил что это сотрудничество усилит способность RMDC решать ключ сопротивляет возможностям в предварительных материалах и быстро находит соответствующие разрешения для этих общих возможностей технологии.

Источник: http://www.sematech.org

Last Update: 25. April 2012 03:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit