Posted in | Nanolithography

SEMATECH Inpria Partner som Tacklar Nyckel- Utmaningar i EUV-Lithography

Published on April 25, 2012 at 2:16 AM

Vid Cameron Chai

Den Globala konsortiet av gå i flisor producenter, har SEMATECH anmält den Inpria, filmar har en specialist i kemiska material för överlägsen kapacitetsoxid thin avlagring, blivit en medlem av SEMATECH Motstår Material, och Utveckling Centrerar (RMDC) på Universitetar på Albanys Högskola av Nanoscale Vetenskap och att Iscensätta (CNSE).

Som delen av SEMATECHS lithographyprogramet, SEMATECH och den Inpria ska partnern på nyckel- motstår utmaningar i ytterlighetultraviolet (EUV)lithography. Oorganiska Inprias motstår visar kick etsar motstånd och har löst mycket 11 som nm fodrar/utrymmesärdrag. I detta partnerskap använder ska SEMATECH och Inpria dessa med hög upplösning motstår för kvalifikationen av 0,5 NA EUV som avbildar optik på kärna ur av det pågående, ha som huvudämne förbättringar till för- motstår forskning för halva-grad för £ 11 nm i RMDC. Inpria ska förbättrar också dess motstår materials photosensitivity för att fullgöra produktivitetsbehov för kommande produktionapplikationer.

Partnerskap mellan SEMATECH och Inpria ska byggs på Inprias avancerade halvledare som mönstrar material och, bearbetar, och beryktade SEMATECH marknadsför ledarskap, erfar halvledaren, och långtgående knyta kontakt av forskningsakkunskap och maskinvara. Det RMDC ska erbjudandet tar fram till talrik metrology bearbetar, och mikro-exponering två bearbetar installerat på CNSE och Universitetar av Kalifornien, Berkeley.

Enligt Andrew Grenville, kan Verkställande direktör på Inpria, företaget utnyttja detta samarbete för att accelerera utvecklingen av EUV-lithographymaterial. Detta partnerskap är en annan testament till företagets förpliktelse att tilltala ha som huvudämne lithography utfärdar mött av halvledarebranschen.

SEMATECHS Direktör av Lithography, Stefan Wurm påstod att detta ska samarbete förstärker RMDCS kapacitet att tackla nyckel- motstår utmaningar i avancerade material och finner snabbt passande lösningar för dessa vanligt teknologiutmaningar.

Källa: http://www.sematech.org

Last Update: 25. April 2012 03:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit