SEMATECH EMS-Partnerschafts-Bauteil-Platz-Ordnungen für Carl Zeiss' ZIELE EUV Hilfsmittel

Published on April 27, 2012 at 2:19 AM

Durch Cameron Chai

In Übereinstimmung mit ihren Schlitzaufgaben haben zweiköpfige Firmen der SEMATECH EMS-Partnerschaft, die TSMC enthält, Samsung Electronics, Intel und GLOBALFOUNDRIES Aufträge vergeben, um Hilfsmittel der ZIELE EUV, eine aktinische Luftbildmetrologielösung zu kaufen von der Carl Zeiss-Halbleiter-Metrologie-Anlagen- (SMS)Abteilung.

Carl Zeiss SMS hat sich mit Lithographie-Optik-, Carl Zeiss-SMTs Scanner-Optik Abteilung und externe Partner in der Entwicklung des Hilfsmittels der ZIELE EUV verbündet. Carl Zeiss SMS' Direktor, Dr. Oliver Kienzle erklärte, dass diese Ordnungen ein bedeutendes Markstein in der Förderung des Hilfsmittels der ZIELE EUV sind und hebt die Stichhaltigkeit von EUV-Technologie in der Industrie hervor. Die Firma nimmt Ordnungen von den restlichen Bauteilfirmen entsprechend ihren Schlitzaufgaben vorweg, die während der Produkteinführung des EMS-Konsortiums gekennzeichnet werden.

Das Hilfsmittel der ZIELE EUV ist eine Schlüsselplattform, zum von fehlerfreien EUVL-Masken für den 22 nm-halbabstand Technologie-Knotenpunktbedarf, mit Ersteigbarkeit zum 16 nm der Halbabstand Technologieknotenpunkt herzustellen. Das erste Produktion-angemessene Baumuster der Plattform wird erwartet, im Q3 von 2014 entbunden zu werden.

Im Jahre 2010 hatte SEMATECH EMS montiert, um Schlüsselmetrologiehilfsmittel durch Finanzierung zu entwickeln, um EUV auf dem Maskenproduktionsgebiet voranzubringen. EMS wird durch Lithographie-Programm SEMATECHS gehandhabt, das an der Universität an Albaniens College von Wissenschaft und von Technik Nanoscale basiert.

SEMATECH initialisierte Schlüsselprojekt EMS erster, indem es ein Partnerschaftsabkommen mit Carl Zeiss kennzeichnete, um die erst-von-sein-nette aktinische Luftanlage der bildmetrologie EUV für Großserienfertigung von EUVL zu entwickeln und herzustellen.

Quelle: http://www.zeiss.com

Last Update: 27. April 2012 03:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit