Заказы Места Членов Партнерства EMI SEMATECH для Карл Zeiss' НАПРАВЛЯЮТ Инструменты EUV

Published on April 27, 2012 at 2:19 AM

Камероном Chai

В соответствии с их назначениями шлица, 2 компании члена Партнерства EMI SEMATECH состоя из TSMC, Samsung Electronics, Intel и GLOBALFOUNDRIES делали заказ заказы для того чтобы купить инструмент ЦЕЛЕЙ EUV, актиничное воздушное разрешение метрологии изображения от Разделения Систем Метрологии Полупроводника Карл (SMS) Zeiss.

Карл Zeiss SMS объенинялось в команду вверх с отдел оптикой блока развертки Оптики, Карл Zeiss SMT Литографированием, и внешние соучастники в развитии инструмента ЦЕЛЕЙ EUV. Карл Управляющий Директор Zeiss SMS', Др. Оливер Kienzle заявил что эти заказы знаменательная веха в выдвижении инструмента ЦЕЛЕЙ EUV и подчеркивает значительность технологии EUV в индустрии. Компания предвидит заказы от остальных компаний члена согласно их назначениям шлица подписанным во время старта консорциума EMI.

Инструмент ЦЕЛЕЙ EUV ключевая платформа для того чтобы изготовить дефект-свободные маски EUVL для 22 потребностей узла технологии половин-тангажа nm, с масштабируемостью к узлу технологии половин-тангажа 16 nm. Ожидано, что поставлена модель платформы первая продукци-достойная в Q3 2014.

В 2010, SEMATECH настроило EMI для того чтобы развить ключевые инструменты метрологии через финансирование для того чтобы выдвинуть EUV в поле продукции маски. EMI управляется Программой Литографированием SEMATECH, которая основана на Университете на Коллеже Albany Науки и Инджиниринга Nanoscale.

SEMATECH начало проект EMI первого ключевой путем подписание дела партнерства с Карл Zeiss для того чтобы начать и изготовить перв--сво-добросердечную актиничную воздушную систему метрологии EUV изображения для массового производства EUVL.

Источник: http://www.zeiss.com

Last Update: 27. April 2012 03:25

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit