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ITME Kauft Vistecs Fortgeschrittene Elektron-Träger Lithographie-Anlage

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Durch Cameron Chai

Das Institut der Elektronischen Werkstofftechnologie (ITME) angesiedelt in Warschau hat das SB251, eine variable geformte Trägeranlage vom Vistec-Elektronenstrahl, ein Anbieter von Elektronträger Lithographieanlagen gekauft.

Die Anlage Vistecs SB351

Das Vistec SB251 wird für Forschung und Fälschung von verschiedenen Baumustern von beugenden und mikro-optischen Elementen, von neuen Materialien und von Masken der optischen Lithographie verwendet. ITME wird in die Forschung, in die Entwicklung und in die Produktion von innovativen Einheiten, von Materialien und von Bauteilen für Gebrauch in der Optoelektronik, in der Feinstmechanik und in der Elektronik miteinbezogen. Das Institut wählte die Anlage durch ein Europäisches Ausschreibungsverfahren aus.

Die Universalanlage wird für die Maske entwickelt, die macht und direkt schreiben Sie Berührungen. Sie kann die transparenten und undurchsichtigen Materialien handhaben und freilegen, die in der Optik und in den Halbleiteranwendungen verwendet werden. Sie hat eine Berührungsplattform, eine Stufenarbeitswegreichweite 210x210 mm, ein Adreßgitter von 1 nm und eine 50 KV-Elektronenoptik zu kennzeichnen. Mit diesen Merkmalen kann die Anlage Lithographie in weniger als 50 nm auf verschiedenen Substratflächen von den Bauteilen bis zu 7" durchführen Masken und 200 mm-Wafers.

Hoch entwickelten der Elektronträger Lithographiesubstratflächenhandhaben und -Benutzeroberflächemerkmale die Kassette-zukassette Anlage vollständig automatisierten aktivieren sie, in einer vielseitigen Gemeinschaftsumgebung an den Einteilungen wie ITME effektiv verwendet zu werden. Außerdem hat es ePLACE, ein Datenaufbereitungs-Anwendungspaket.

Nach Ansicht Generaldirektor des Vistec-Elektronenstrahls, ist Wolfgang Dorl, das SB251 vielseitig und zuverlässig und macht die Anlage geeignet, damit ITME seine gegenwärtigen und Anwendungen handhabt. Direktor ITMES, Dr. Zygmunt Luczynski erklärte, dass das neue Vistec SB251 erwartet wird, um eine wichtige Rolle in der Forschung und Entwicklung Tagesordnung von ITME zu spielen.

Quelle: Rolle

Last Update: 30. April 2012 03:54

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