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ITME Achète le Système Avancé de Lithographie de l'Électron-Poutre de Vistec

Published on April 30, 2012 at 2:50 AM

Par Cameron Chai

L'Institut de la Technologie des Matériaux Électronique (ITME) basé à Varsovie a acheté le SB251, un système de poutre formé variable de Faisceau D'électrons De Vistec, un fournisseur des systèmes de lithographie d'électron-poutre.

Le système de Vistec SB351

Le Vistec SB251 sera employé pour la recherche et la fabrication de différents types des éléments à diffraction et micro-optiques, des matériaux nouveaux, et de masques de lithographie optique. ITME est concerné dans la recherche, le développement et la production des dispositifs novateurs, des matériaux et des composants pour l'usage dans l'optoélectronique, la micromécanique, et l'électronique. L'institut a sélecté le système par une adjudication Européenne.

Le système universel est développé pour le masque effectuant et direct écrivez les expositions. Il peut traiter et exposer les matériaux transparents et non transparents qui sont utilisés dans le bloc optique et les applications de semi-conducteur. Il a une plate-forme d'exposition comporter un domaine de course de stade de 210x210 millimètre, un réseau d'adresse de 1 nanomètre, et une optique électronique de 50 kilovolts. Avec ces configurations, le système peut exécuter la lithographie dans moins de 50 nanomètre sur les substrats différents des composants jusqu'à 7" des masques et des disques de 200 millimètres.

Des caractéristiques techniques complet automatisées de traiter et d'interface utilisateur graphique du substrat du magasin-à-magasin du système avancé de lithographie d'électron-poutre lui permettent d'être utilisé effectivement dans un environnement multi-utilisateur versatile aux organismes comme ITME. D'ailleurs, il a l'ePLACE, un progiciel de préparation de données.

Selon Directeur Général du Faisceau D'électrons De Vistec, Wolfgang Dorl, le SB251 est versatile et fiable, rendant le système adapté pour qu'ITME traite ses applications présentes et futures. Le Directeur d'ITME, M. Zygmunt Luczynski a déclaré qu'on s'attend à ce que le Vistec SB251 neuf joue un rôle important dans l'ordre du jour de recherche et développement d'ITME.

Source : http://www.vistec-semi.com/

Last Update: 30. April 2012 03:53

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